در خط تولید ۳۰۰ میلیمتری، فرآیند گرم کردن فوتورزیست، جایی است که میتوانید انرژی حرارتی مورد نیاز را به خوبی مدیریت کنید یا آن را هدر دهید. عدم یکنواختی در دما، منجر به تغییرات در عرض لبههای سطح ویفر میشود. اگر گازهای ناشی از فرآیند تولید یا ذرات موجود در محیط، فرآیند تولید را مختل کنند، لازم است کار را از ابتدا انجام دهید. شما به منبع حرارتی نیاز دارید که بتواند دما را در هر شلیک، به طور یکنواخت حفظ کند، بدون اینکه با شرایط محیط پاک تداخل ایجاد شود.
نکات مهم در این فرآیند
ما از لامپهای مادون قرمز با ساختار مولیبدنی استفاده میکنیم؛ این لامپها دارای رشتههای مولیبدنی با بازدهی بالا هستند و درون پوشش کوارتزی قرار دارند. این ساختار با قابلیت جذب نور توسط فوتورزیست هماهنگ است؛ بنابراین میتوانید محلولهای موجود روی سطح ویفر را به سرعت حذف کنید، در حالی که سطح ویفر همچنان یکنواخت باقی میماند.
در منطقه گرم کردن، یکنواختی دما در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین تکرارپذیری فرآیند نیز بالاتر از ±۰٫۲ درجه سانتیگراد است. ساختار مولیبدنی، این ساختار را در برابر بار حرارتی حفظ میکند؛ بنابراین نقاط داغ یا سردی روی سطح ویفر ایجاد نمیشود. عملکرد لامپ در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت، پایدار باقی میماند و تغییرات شدت نور کمتر از ۵٪ است. بدنه لامپ برای استفاده در محیطهای پاک کلاس ۱ تا ۱۰۰ ساخته شده است و در حالت پایدار، هیچ ذرهای تولید نمیکند.
چرا این موضوع در فرآیند لیتوگرافی مهم است؟
فرآیندهای گرم کردن نرم و سخت، ابعاد کلیدی محصول را تعیین میکنند. با استفاده از این لامپ، میتوانید دمای مورد نیاز را سریعتر به دست آورید، آن را به طور یکنواخت حفظ کنید و تغییرات ناشی از محلولهای باقیمانده روی سطح ویفر را کاهش دهید. این امر منجر به کنترل بهتر ابعاد محصول، کاهش تعداد شلیکهای با کیفیت پایین، و کاهش مقدار مواد اضافی تولید شده میشود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا پاسخ لامپ فوری است و زمان لازم برای گرم شدن لامپ کمتر است. قابلیت اطمینان فرآیند نیز بهبود مییابد؛ زیرا تعداد مواقع توقف غیرمنتظره فرآیند کاهش مییابد. همچنین، میتوانید بازه عملکرد فرآیند را بدون نیاز به تغییر دادن دستورالعملهای فرآیند، گسترش دهید.
نکات عملی
نصب لامپ، به قطبیت و جریان سیال خنککننده بستگی دارد؛ اگر این موارد صحیح نباشند، عمر لامپ کاهش مییابد و یکنواختی دما نیز تغییر میکند. لامپ با سیگنالهای کنترلی استاندارد ۲۴ ولتی و رابطهای رایج OEM کار میکند؛ اما همچنان لازم است که هنگام نصب اولیه، تنظیمات لامپ را بررسی کنید.
باید منتظر دوره گرم شدن لامپ برای رسیدن به تعادل حرارتی باشید؛ همچنین، پس از تعویض لامپ، باید محفظه گرم کردن را دوباره تنظیم کنید تا یکنواختی دما در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد حفظ شود.