در سالن تولید، میدانید که اوضاع چگونه است: تغییر دما به اندازه ۰.۳ درجه سانتیگراد در حین پخت فتو رزین کافی است تا یک دسته کامل از بین برود. لامپ مادون قرمز SK15 برای فرهای ویفر طراحی شده است تا این تغییر دما را از همان ابتدا متوقف کند. این لامپ مستقیماً بر روی بودجه حرارتی تمرکز دارد، بنابراین پروفیلهای پخت نرم و سخت در حالت قفل باقی میمانند و ابعاد حیاتی تحت کنترل هستند.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد
SK15 بر اساس NIR با موج کوتاه طراحی شده است، بنابراین گرمایش سریع و سهبعدی با اینرسی حرارتی کم ارائه میدهد. در سراسر سطح ویفر، یکنواختی در ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود و تکرارپذیری در هر شوت تضمین شده است. امیتر تمیز باقی میماند—بدون تولید ذرات، بدون گازگیری—بنابراین در محدودیتهای اتاق تمیز کلاس ۱–۱۰۰ باقی میمانید. خروجی در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت پایدار میماند، با افتی کمتر از ۵ درصد و ابعاد لامپ با پورتهای استاندارد فر مطابقت دارد و نصب آن ایمن و تکرارپذیر است.
فرهای ویفر به حرارتی نیاز دارند که سریعاً وارد عمل شود، به سرعت تثبیت شود و هیچ چیز را باقی نگذارد. SK15 اتاق را در نقطه تنظیم نگه میدارد بدون اینکه از آن فراتر برود، که زمان گرم شدن و تثبیت را کاهش میدهد. نتیجه این است که تولید بالاتر، تعداد کمتری از دستههای بازسازی و ضایعات کمتر خواهد بود.
پروفیلهای فتو رزین در طول دستهها و شیفتها ثابت میمانند که به یکنواختی پوشش و ابعاد CD کمک میکند. و از آنجایی که شیبها سریعتر و نگهداری پایدار است، مصرف انرژی کاهش مییابد—که هزینه عملیاتی به ازای هر ویفر را پایین میآورد.
در اینجا چند نکته وجود دارد که باید در نظر داشته باشید. SK15 با اکثر پلتفرمهای فر ویفر کار میکند، اما هندسه فر، چیدمان بازتابنده و جریان هوا هنوز بر یکنواختی نهایی تأثیر میگذارند. یک دوره راهاندازی کوتاه را برای تنظیم PID برنامهریزی کنید و تأیید کنید که پروفیل پخت با لایه رزین مطابقت دارد. شما مقداری زمان بیشتری را در ابتدای کار برای راهاندازی صرف خواهید کرد، سپس به عملکرد پایدار با حداقل نگهداری دست خواهید یافت.