چرا ما به استفاده از روش گرمایش با امواج مادون قرمز روی آوردهایم؟
بیایید صادق باشیم: فرهای سنتی، کاربردی ندارند. آنها آهسته هستند، حجم زیادی دارند، و انرژی زیادی را صرف گرم کردن هوا و دیوارههای فلزی دستگاه میکنند، در حالی که حتی به ویفر هم دسترسی ندارند.
به همین دلیل، همه در حال تغییر به استفاده از روش گرمایش با امواج مادون قرمز هستند. این روش منطقیتر است؛ چون به جای گرم کردن کل اتاق، مستقیماً روی سطح ویفر تأثیر میگذارد.
پایان دادن به انتظار
فرآیند خشک کردن معمولی را در نظر بگیرید؛ در واقع باید منتظر بمانیم تا هوای گرم کارش را انجام دهد. این کار مدت زمان زیادی طول میکشد.
اما با استفاده از امواج مادون قرمز، از تابش الکترومغناطیسی برای حرکت دادن مولکولهای موجود در لایههای روی ویفر استفاده میکنیم. از امواج مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنیم؛ چون این امواج تقریباً بلافاصله به لایههای سطحی ویفر نفوذ میکنند. بهترین نکته این است که دیگر نیازی به استفاده از مواد مستحکمکننده حاوی سرب و آن حلالهای مضر نیست؛ چون این مواد معمولاً نیاز به ساعتها گرمایش شدید برای از بین رفتن دارند. این روش سریعتر است، و همچنین به محیط زیست آسیب کمتری میرساند.
انرژی بدون هدررفت
ما این لامپها را به گونهای تنظیم میکنیم که تراکم انرژی بالا باشد. چرا؟ چون میخواهیم انرژی در همان محلی که لازم است، متمرکز شود.
این کار باعث میشود که فرآیند گرم شدن ویفر از چند دقیقه به چند ثانیه کاهش یابد. دیگر نیازی نیست که فر را برای یک ساعت روشن نگه داریم تا ویفر گرم شود. کافی است کلید را فعال کنیم؛ ویفر به دمای مورد نیاز خواهد رسید، و کار تمام خواهد شد. ساده است.
چالشات مربوط به فشار حرارتی
اما این روش کاملاً بدون چالش نیست. امواج مادون قرمز با شدت بالا، بسیار قدرتمند هستند؛ شاید حتی بیش از حد قدرتمند. اگر دما را خیلی سریع افزایش دهیم، ممکن است ویفر تغییر شکل دهد یا حتی شکسته شود. بنابراین باید ترازوی مناسبی بین توان لامپ و فاصله آن از ویفر برقرار کنیم تا از ایجاد نقاط گرم بیش از حد جلوگیری شود.
تمیز کردن فرآیند
مزیت واقعی این روش این است که این روش یک روش «خشک» است؛ یعنی هیچ گاز سوزانده یا گازهای مضری وجود ندارد. علاوه بر این، این روش به راحتی با سیستمهای خلأ یا گازهای نافع کار میکند. برای هر کارخانهای که میخواهد معیارهای «سبز» یا عدم استفاده از سرب را رعایت کند، این روش بهترین گزینه است. این روش جایگزین مناسبی برای آن سیستمهای قدیمی و پرمصرف است.