Pourquoi les émetteurs infrarouges surpassent l’air chaud dans le semiprocessus
Si vous continuez à utiliser la circulation d’air chaud pour vos processus de traitement avancés, vous perdez énormément de temps en attendant que la température atteigne le niveau souhaité.
Pensez-y : l’air est un mauvais conducteur de chaleur. Vous gaspillez donc beaucoup d’énergie rien que pour chauffer cet air avant même que cette chaleur n’atteigne votre wafer. C’est très lent.
Les émetteurs infrarouges changent complètement la donne. Ils évitent complètement ce médiateur et dirigent directement l’énergie vers le substrat.
Le secret des joints en céramique
Lorsqu’on travaille à de telles températures, le point où le fil électrique touche le tube en quartz devient problématique. Si on ne fait pas attention, des fuites thermiques peuvent endommager l’enveloppe du dispositif ou même brûler les connexions. Ce n’est pas vraiment agréable…
C’est pourquoi nous utilisons des joints en céramique. Ils servent de protection, assurant ainsi l’isolation nécessaire pour maintenir les choses stables. Ainsi, la chaleur reste exactement là où elle doit être – sur la surface de l’émetteur – et loin de vos connecteurs.
Vitesse et espace occupé
La différence de vitesse est remarquable. Les systèmes à rayonnement infrarouge atteignent leur température cible en quelques secondes. Avec l’air chaud, il faut des minutes avant que tout ne soit stabilisé. Pour ceux qui utilisent ces systèmes, cela signifie des temps de mise en marche plus courts et une productivité accrue.
De plus, l’espace nécessaire diminue. Vous pouvez vous passer de ces gros ventilateurs et de tous ces tuyaux encombrants. Nous concevons ces systèmes pour une haute densité de puissance, afin que la chaleur soit dirigée exactement là où elle est nécessaire. Plus besoin de gaspiller de l’énergie pour chauffer toute la chambre, juste pour réchauffer un seul point.
Les compromis (car rien n’est parfait)
Je ne prétends pas que les émetteurs infrarouges soient la solution miracle. Il y a des points auxquels il faut faire attention.
Comme le rayonnement est très intense, vos réflecteurs doivent être parfaitement alignés. S’ils ne le sont pas ou s’ils s’usent, des zones froides apparaîtront sur votre wafer.
De plus, comme les pics de température surviennent très rapidement, cela exerce une grande pression sur le joint entre le quartz et la céramique. On ne peut pas simplement augmenter drastiquement la température ; il faut gérer graduellement l’augmentation de température. Sinon, on risque des chocs thermiques et une usure prématurée des composants.