Sur le plateau de lithographie, le processus de cuisson n’est pas simplement une étape préparatoire ; c’est bien le processus principal. Un écart de 2 °C pendant la cuisson douce peut provoquer des variations dans la température de transition vitreuse du photorésiste. De plus, les irrégularités liées à la cuisson forte se manifestent sous forme d’anomalies aux bords et dans la largeur des lignes tracées. Il est donc essentiel d’avoir un contrôle de température fiable, et non quelque chose sur quoi on ne peut pas compter.
Ce qui est important sur le plan technique Nous utilisons un capteur infrarouge de haute précision pour maintenir une uniformité thermique de ±0,1 °C sur toute la surface du wafer pendant le processus de cuisson. La reproductibilité est quant à elle de ±0,05 °C d’un lot à l’autre. La tête du capteur est compatible avec des environnements propres de classe 1–100, et elle est conçue pour ne produire aucune particule. Le système d’émission en quartz/halogène permet d’obtenir des signaux NIR stables et répétables, sans points chauds.
Ce système permet de contrôler précisément les températures de cuisson du photorésiste, allant de 90 °C à 250 °C. Il est conçu pour fonctionner 24/7, sans interruptions non planifiées.
Pourquoi ça marche en milieu industriel En pratique, la cuisson douce permet de fixer les propriétés du photorésiste de manière constante à chaque fois. La cuisson forte, quant à elle, permet de fixer ces propriétés sans excès de température. La qualité des images obtenues s’améliore, car l’histoire thermique est cohérente.
On a besoin de moins de lots de test, ce qui réduit les déchets. De plus, le temps de traitement diminue, car la température de cuisson est ajustée en fonction des propriétés chimiques du photorésiste, et non par supposition.
Ce que vous devez vraiment savoir L’installation nécessite que la géométrie de la plaque de cuisson et l’émissivité du matériau utilisé soient adaptées. Nous fournissons un kit de calibrage ainsi qu’une liste de contrôle pour une intégration en 30 minutes.
Il y aura peut-être un léger retard au démarrage du processus, mais une fois que tout est aligné, le processus peut commencer normalement.
Pour assurer une meilleure stabilité, il est important de maintenir la fenêtre du capteur exempte de résidus, et de vérifier sa propreté lors des interventions de maintenance préventive.