על קו ה-300 מ"מ, צלחת רטובה שמונחת סביבה היא עצירת קו. לחות שנותרה משמעה פסים, חלקיקים ואובדן תפוקה לפני שתגיע אפילו ללטוגרפיה. בנינו מודול ייבוש מהיר מיד לאחר השטיפה כדי להפוך את ההעברה משטיפה לייבוש לשלב תרמי מבוקר, ולא להטלת מזל.
מה שחשוב מתחת למכסה המנוע
אנחנו משתמשים באינפרה-אדום של גלי קצר ובינוני במערכת קוורץ-הלוגן, משליכים אנרגיה במהירות תוך שמירה על הספקטרום צמוד כך שלא תסכן בחשיפת הפוטורזיסט. אחידות הטמפרטורה על פני הצלחת נשמרת בטווח של ±0.1°C, וחזרתיות בין משמרות נשארת בטווח של ±0.2°C. מודול המנורה מוכן לחדר נקי עבור Class 1–100, עם אפס יצירת חלקיקים מאומתת ברמת הכלי. הפלט נשאר יציב בטווח של 1% על פני 5,000+ שעות, כך שאתה יכול לפעול 24/7 ולתכנן תחזוקה ללא הפתעות.
למה זה נדבק על הרצפה
מיד לאחר השטיפה, הצלחת פוגשת שדה תרמי מוגדר שמאדה מים על פני השטח במהירות ובאופן אחיד. אתה מסיים עם משטח יבש, חופשי משאריות, מוכן לאפייה רכה או קשה—בלי עלייה חדה בטמפרטורה. אתה מקצר את המעבר מרטוב לייבש, מפחית פגמים מעברים, ומדקק את בקרת ממדי הקריטיים על ידי הגנה על תקציב החום של הפוטורזיסט. שליטה פולסית וחימום מהיר שומרים על צריכת חשמל מנוחה נמוכה מבלי לפגוע בביצועים.
מה שאתה צריך לעשות נכון
ההתקנה מתבססת על התאמת טביעת המנורה לאפקטור הסוף של המסילה וליישור פרופיל הקרן עם גבול הצלחת. כוונן את המודול לכימיה של הממס וטמפרטורת השטיפה כך שלא תהיה אידוי שונה. הרץ קבוצת השקה קצרה כדי לכוון את זמן השהיה והעוצמה, ושמור על התהליך בתוך חלון החום של הפוטורזיסט.