בחדר הייצור, לחות שנשארת – בין אם בתוך חומר הפוטורזיסט או על פני הוואפר עצמו – עלולה לפגוע בממדים החשובים של הוואפר לאחר החשיפה. אם לא מוציאים את...

בשלב זה, הוופר יוצא מתהליך השטיפה, והשעון מתחיל לעבוד. כל לחות שנשארת גורמת לבעיות כמו יצירת “גשרים” בין החומרים, או לירידה באיכות המוצר – בעיות שאי...