בחדר הייצור, שינוי של 0.5°C בטמפרטורת החימום של הפוטורזיסט יכול לגרום לשינוי בעובי הקווים ברמה של ננומטרים – וזה מה שגורם לכך שחלקים רבים נזרקים. לכן, עיצבנו את הפנס של מכשיר הליתוגרפיה שלנו בהתאם למציאות הזו, תוך שימוש באור בטווח האינפרה-אדום הקצר, כדי לספק חום מהיר ויעיל, שישמור על יציבות הטמפרטורה במהלך התהליך.
מה חשוב מבחינה טכנית? הפנס פועל בטווח האינפרה-אדום, כך שהפוטורזיסט מספיג את החום ביעילות. זמן החימום פוחת, אך החומר נשאר בטמפרטורה יציבה. ברמת הווהר, האחידות של הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1°C, והשגרתיות של התהליך נשמרת בזכות מדידה מדויקת של הטמפרטורה באמצעות מערכת פיורומטריה. התאמת המערכת לתנאי חדר הניקיון אינה דבר שנלקח בחשבון באופן אחרוני: החומרים שמשמשים במערכת עומדים בתקנים של קטגוריות 1–100, אין פליטת גזים, והעיצוב של המערכת מונע הצטברות של חלקיקים. המערכת פועלת 24/7, עם זמני תחזוקה צפויים, כך שאין עצירות לא צפויות בתהליך.
למה זה עובד בפועל? בתהליך ייבוש הווהר, האור בטווח האינפרה-אדום מסייע להסרת הלחות מהשטח, מבלי לגרום לפגיעה בשכבות השונות של הווהר. במהלך החימום הרך, החומרים המרכיבים את הווהר מתאדים בצורה יעילה – מה שמשפר את ההידבקות של השכבות השונות. במהלך החימום החזק וייבוש הפוטורזיסט, הטמפרטורה נשלטת בצורה מדויקת, מה שמביא לשליטה טובה יותר בעובי הקווים ולצורך פחות בתיקונים. התוצאה היא תשואה עקבית, זמני עיבוד קצרים יותר, וצריכת אנרגיה נמוכה יותר לכל והר, מכיוון שהחום מופנה דווקא למקומות שבהם הוא נחוץ.
מה צריך לזכור? האור בטווח האינפרה-אדום מחמם במהירות, לכן חשובה ההתאמה בין הטמפרטורה לבין תנאי החימום. אנו מספקים ציוד להתאמה תרמית, וממליצים על כיול הפיורומטריה אחת לרבעון, כדי לשמור על דיוק. הפנס מתאים לפלטפורמות ליתוגרפיה סטנדרטיות ולתנאי חדר הניקיון, אך ההתקנה דורשת מעגל חשמלי במתח 208–240 וולט, וכן ניהול נכון של זרימת האוויר – כל אלו חיוניים ליציבות הטמפרטורה. יש לתכנן בדיקה קצרה של המערכת, כדי לוודא שהאחידות והשגרתיות של התהליך עומדות בדרישותיכם.