सेमी-प्रोसेसिंग में IR एमिटर्स, हॉट एयर की तुलना में क्यों बेहतर हैं?
यदि आप अभी भी डीप प्रोसेसिंग हेतु हॉट एयर का उपयोग कर रहे हैं, तो आप वास्तव में बहुत अधिक समय बर्बाद कर रहे हैं।
सोचिए… हवा तो बहुत ही खराब ऊर्जा-वाहक है। आपको बहुत सारी ऊर्जा उस गैस-मिश्रण को गर्म करने में ही खर्च करनी पड़ती है… और फिर भी वह ऊर्जा आपके वेफर तक नहीं पहुँच पाती। यह बहुत ही धीमी प्रक्रिया है।
IR एमिटर्स इस समस्या का समाधान हैं… वे बीच के मध्यस्थों को हटाकर सीधे ही ऊर्जा को सब्सट्रेट तक पहुँचाते हैं।
सिरेमिक एंड कैप का रहस्य
जब ऐसे उच्च तापमानों पर काम किया जाता है, तो विद्युत तारों के क्वार्ट्ज ट्यूब से संपर्क करने वाले स्थान पर समस्याएँ उत्पन्न हो जाती हैं… यदि सावधानी न बरती जाए, तो थर्मल लीकेज के कारण उपकरणों को नुकसान पहुँच सकता है। ऐसी स्थिति में कार्यालय में काम करना बहुत ही कठिन हो जाता है।
इसीलिए हम सिरेमिक एंड कैपों का उपयोग करते हैं… ये एक तरह की सुरक्षा परत का काम करते हैं, जिससे ऊर्जा ठीक वहीं रहती है… यानी एमिटर की सतह पर… और आपके कनेक्टरों से दूर रहती है।
गति एवं स्थान
गति में बहुत ही अंतर है… IR सिस्टम कुछ ही सेकंडों में लक्षित तापमान तक पहुँच जाते हैं… जबकि हॉट एयर के लिए तो मिनटों लग जाते हैं। इससे प्रक्रिया तेज हो जाती है… और ऊर्जा की बचत भी होती है।
इसके अलावा, आपको बड़े ब्लोअरों एवं अन्य उपकरणों की आवश्यकता भी नहीं पड़ती… हम ऐसे सिस्टम डिज़ाइन करते हैं जिससे ऊर्जा ठीक वहीं जाती है… जहाँ उसकी आवश्यकता है… अब आपको पूरे चेंबर को गर्म करने हेतु ऊर्जा बर्बाद नहीं करनी पड़ती।
नुकसान/चुनौतियाँ (क्योंकि कुछ भी परफेक्ट नहीं है)
मैं यह नहीं कहूँगा कि IR एमिटर्स ही सबसे अच्छा समाधान हैं… इनके उपयोग में भी कुछ चुनौतियाँ हैं।
चूँकि विकिरण बहुत ही तीव्र होता है, इसलिए रिफ्लेक्टरों को बिल्कुल सही ढंग से स्थापित करना आवश्यक है… यदि वे गलत जगह पर हों, या क्षतिग्रस्त हो जाएँ, तो वेफर पर ठंडे बिंदु दिखने लगते हैं।
और चूँकि तापमान बहुत तेजी से बढ़ता है, इसलिए क्वार्ट्ज एवं सिरेमिक के बीच के संबंधों पर भी दबाव पड़ता है… आप बस तापमान को बढ़ा ही नहीं सकते… आपको इसकी गति को नियंत्रित करना ही होगा… वरना थर्मल शॉक एवं उपकरणों के नष्ट होने का खतरा है।