लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “बेक” करना कोई वॉर्म-अप प्रक्रिया नहीं है; यह तो वास्तविक प्रसंस्करण प्रक्रिया ही है।
सॉफ्ट बेक के दौरान 2°C का अंतर भी फोटोरेजिस्ट के Tg मान को बदल सकता है; हार्ड बेक के दौरान तो गैर-एकरूपताएँ और भी बढ़ जाती हैं। इसलिए तापमान नियंत्रण आवश्यक है… कोई ऐसा तापमान नियंत्रण नहीं जिस पर भरोसा न किया जा सके।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम वेफर पर एक परिशुद्ध IR सेंसर उपयोग में लाते हैं; इससे वेफर की सतह पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है। विभिन्न बैचों में भी तापमान की स्थिरता ±0.05°C के भीतर ही रहती है। यह सेंसर क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सकता है, एवं इसमें कोई कण भी नहीं उत्पन्न होता। क्वार्ट्ज/हैलोजन एमिटर के कारण स्थिर एवं पुनरावर्ती NIR आउटपुट प्राप्त होता है… कोई “हॉट स्पॉट” नहीं होता।
यह सेंसर 90°C से 250°C तक के तापमानों पर भी काम कर सकता है… एवं यह सिस्टम 24/7 चल सकता है, बिना किसी अप्रत्याशित रुकावट के।
फैक्ट्री में यह क्यों कारगर है?
व्यवहार में, सॉफ्ट बेक हर बार फोटोरेजिस्ट को एक ही तरह से तैयार करता है। हार्ड बेक तो फोटोरेजिस्ट के गुणधर्मों को स्थिर रखता है… इससे लिथोग्राफी प्रक्रिया में बेहतर परिणाम प्राप्त होते हैं।
कम बैचों की आवश्यकता होती है… अपशिष्ट भी कम हो जाता है… एवं प्रक्रिया का समय भी कम हो जाता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि बेकिंग प्रक्रिया फोटोरेजिस्ट की रासायनिक विशेषताओं के अनुसार ही होती है… अनुमानों के आधार पर नहीं।
आपको वास्तव में क्या जानना आवश्यक है?
स्थापना के दौरान बेक प्लेट की ज्यामिति एवं एमिसिविटी को सही रखना आवश्यक है। हम एक कैलिब्रेशन किट एवं 30 मिनट की इंटीग्रेशन चेकलिस्ट भी प्रदान करते हैं।
पुरानी प्रणालियों में सेटअप समय में थोड़ा विलंब हो सकता है… लेकिन एक बार सब कुछ सही हो जाने के बाद, प्रक्रिया सुचारू रूप से चलने लगती है।
सर्वोत्तम स्थिरता हेतु, सेंसर के आसपास किसी भी प्रकार के अवशेष नहीं होने चाहिए… एवं नियमित रखरखाव के दौरान इसकी स्वच्छता सुनिश्चित करनी आवश्यक है।