वेफरों को सही तरीके से सुखाना (बिना ऊर्जा की बर्बादी के)
जब हम वेफरों को सुखाते हैं, तो यह सब इस बात पर निर्भर करता है कि हम गर्मी को कैसे नियंत्रित करते हैं। हम में से अधिकांश लोग IR लैंपों का उपयोग करते हैं… लेकिन वास्तविक रहस्य तो रिफ्लेक्टरों में ही छिपा है।
यदि हम सावधान न रहें, तो बहुत सारी ऊर्जा बेकार ही बर्बाद हो जाती है। यह तो ऐसा ही है, जैसे पूरे कमरे को गर्म करने के बजाय सिर्फ एक कप कॉफी को गर्म करने की कोशिश की जा रही हो… यह न तो आर्थिक रूप से अच्छा है, और न ही पर्यावरण के लिए।
हर वॉट का सदुपयोग
रिफ्लेक्टरों का उपयोग ऊर्जा की बर्बादी को रोकने हेतु किया जाता है। IR लैंप द्वारा उत्पन्न गर्मी को हर दिशा में भेजने के बजाय, हम इन रिफ्लेक्टरों का उपयोग करके उस गर्मी को वापस सिलिकॉन पर ही भेजते हैं।
यह तो एक सरल तरीका है… लेकिन इससे आपकी उपयोगी ऊर्जा दोगुनी हो जाती है… बिना अतिरिक्त ऊर्जा की आवश्यकता के। जब रिफ्लेक्शन की मात्रा सही होती है, तो आप कम वॉटेज में ही अपने लक्षित तापमान तक पहुँच सकते हैं।
गर्मी एवं सामग्रियों का संघर्ष
सही सामग्री चुनना बहुत ही महत्वपूर्ण है। सोने से ढकी गई सतहें बेहतर हैं… क्योंकि वे IR तरंगों को ठीक से संभाल सकती हैं, एवं ऑक्सीकरण नहीं होता। फिर हाई-प्यूरिटी एल्यूमिनियम भी उपयोग में आता है… लेकिन एक समस्या यह है कि गर्मी के कारण सामग्रियाँ विकृत हो जाती हैं। थोड़ी सी विकृति भी वेफर पर “कोल्ड स्पॉट” पैदा कर सकती है… जिससे वेफर ठीक से सुखाया नहीं जा पाता।
कार्बन कम करना – वास्तविक तरीके से
सेमीकंडक्टर फैक्ट्रियों में “हरित” विधियों का उपयोग करने का मतलब कोई चमत्कारी उपकरणों का उपयोग नहीं है… बल्कि यह तो बुनियादी भौतिकी ही है। IR तरंगों के फोकल बिंदु को सही करने से हम मशीन एवं उसके आसपास की हवा को गर्म करने में होने वाली ऊर्जा की बर्बादी को रोक सकते हैं। बेहतर रिफ्लेक्टरों के कारण आप जल्दी ही अपने लक्षित तापमान तक पहुँच सकते हैं… इससे प्रति वेफर में खर्च होने वाली ऊर्जा कम हो जाती है।
लेकिन ध्यान रखें… जब आप उन तरंगों को सही करते हैं, तो चीजें बहुत जल्दी गर्म हो जाती हैं… इसलिए आपको अपने PID कंट्रोलरों की अच्छी तरह जाँच करनी होगी… वरना आपको वेफर की सतह जलने की समस्या का सामना करना पड़ सकता है।