水素センサーの製造過程で熱を無駄にしないようにしましょう。
水素センサーを製造する際、ウェーハ上の温度分布は正確でなければなりません。推測に頼ることはできません。そのために、私たちは専用の加熱ランプや金メッキされた反射材を使用しています。
目的は非常に単純です。基板に届くすべての電力が無駄にならず、効率的に利用されることです。
なぜ金なのか？
多くの人はアルミニウム製の反射材を使いますが、問題は、アルミニウムが余分なエネルギーを吸収し散乱させてしまう点です。
私たちは高純度の金を使用しています。なぜなら、金は赤外線を効果的に反射するからです。ヒーターの筐体が熱を吸収する代わりに、金がその熱を再びウェーハの方へ押し返します。そうすることで、より明確な焦点が得られ、ウェーハ全体の温度も均一になります。これは明らかに優れた方法です。
電力と熱のバランス
製造用ヒーターを選ぶ際、重要なのはワット数と表面積の比率です。この比率によって、どれだけ速く温度が上昇するかが決まります。
高出力のランプは、薄膜形成に必要な迅速な加熱には適しています。しかし、問題もあります。大量の熱を狭い空間に集中させると、冷却システムが余分な熱に対処できなくなります。そうなると、工具の形状が歪んでしまい、修理が困難になります。
実際に適用する
私たちは、これらのヒーターを既存の設備にそのまま取り替えられるように設計しました。全体の設備を再構築する必要はありません。
金メッキされた反射材に交換するだけで、通常、目標とする温度に到達でき、かつランプから消費される電力も少なくなります。これは双方にとって有益です。電源装置の負担が軽減され、フィラメントが早く壊れることもありません。
もしウェーハ上に冷たい部分があったり、処理時間が長引いている場合、それは「より多くの電力が必要だ」というわけではありません。通常は、放射によるエネルギー損失が原因です。金メッキを施したシステムを使えば、この問題も解決できます。