クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
クラス100の環境で作業する際、最も避けたいのは、ヒーターから微粒子が放出されて機器が汚染されることです。実際、これは思った以上によく起こります。一般的なヒーターは、加熱・冷却の過程で剥がれ落ちたり、ガスを放出したりします。そうなると、ウェーハや高精度な光学部品は台無しになってしまいます。
私たちは、高純度の合成石英製のIRランプを使用してこの問題に対処しています。これらのランプは、ヴァキュームチャンバー内で使用しても問題が起きないように特別に設計されています。
秘密は石英にあります。
私たちは、金属不純物を取り除いた融合シリカを使用しています。なぜかというと、ランプが最高温度に達した時に、揮発性有機化合物が放出されるのを防ぎたいからです。
一部の人々はコーティングされたランプを使用しますが、それらは時間が経つにつれて剥がれてしまいます。一方、私たちの透明な石英ランプは安定しており、剥がれることもなく、急激な加熱・冷却にも耐えられます。本当に優れています。
ヴァキュームチャンバー内への設置
これらのランプをヴァキュームチャンバー内に設置するには、細かい点に注意が必要です。圧力差に耐えられるように設計されているので、漏れの心配はありません。
ただし、フィードスルー部分の密封がしっかりしているかを確認してください。空気がないため、熱は放射によって伝わります。エネルギーは直接ワークピースに届きます。効率的ですが、強烈な熱です。
注意すべき点
高純度の石英はIRエネルギーには適していますが、壊れやすいです。取り付け時に少しでも力を入れすぎると、ランプが割れてしまいます。また、これらのランプは非常に強い熱を発生させるため、冷却システムをしっかりと整える必要があります。そうでないと、ヴァキュームチャンバーの壁が変形してしまい、修理が大変になります。
正常に動作させるために
私たちは、迅速に交換できるようにこれらのランプを設計しました。誰もクリーンルームが停止するのは望みませんからね。
取り付ける際は、コネクタに注意してください。適切なトルクを使用し、過度に締め付けないようにしてください。そうしないと、石英にひびが入ってしまいます。
また、出力が低下した場合も、無理に電圧を上げて補おうとしないでください。それはフィラメントを破損させる原因になります。むしろ、ランプを交換し、PIDコントローラーを再調整する方が良いでしょう。そうすれば、将来的に多くの面倒を省くことができます。