真空チャンバー用赤外線ヒーター

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業する際、最も避けたいのは、ヒーターから微粒子が放出されて機器が汚染されることです。実際、これは思った以上によく起こります。一般的なヒーターは、加熱・冷却の過程で剥がれ落ちたり、ガスを放出したりします。そうなると、ウェ...