ウェーハ処理装置用温度センサー

ガラスの破片が散乱するのを防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 半導体製造工場では、ランプが故障すると、それは単なる迷惑な問題ではありません。それは本当の悪夢です。赤外線ランプが過度な負荷によって壊れると、停止時間だけでなく、クォーツの破片やハロゲンガスがウェーハの表面に飛び散って...