Op de 300mm-linie is het belangrijk om de temperatuur goed onder controle te houden tijdens het verhitten van de fotoresist. Anders wordt de energie verspild. Een gebrekkige uniformiteit leidt snel tot verschillen in de dikte van de lijnen op het wafer. Als er onzuiverheden ontstaan door uitstoot of de vorming van deeltjes, moet alles opnieuw worden gedaan. Er is dus een warmtebron nodig die de temperatuur stabiel houdt, shot na shot, zonder dat dit invloed heeft op de zuivertechnische omstandigheden in de cleanroom.
Wat belangrijk is We gebruiken infrarode lampen met molybdeen als houder – deze lampen hebben hoge emissie en zitten in een kwartsomhulsel dat is afgesteld op kortegolfinfrarood licht. Het spectrum van dit licht past goed bij de absorptie van de fotoresist, zodat de oplosmiddelen snel kunnen worden verwijderd, terwijl het oppervlak van het substraat stabiel blijft. De temperatuurvariatie in de verhittingszone blijft binnen ±0,1°C; de herhaalbaarheid is zelfs nog beter: ±0,2°C per shot. De molybdeenstructuur houdt zijn geometrie stabiel onder thermische belasting, zodat er geen hete plekken of koude randen ontstaan. De prestaties blijven stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% intensiteitsverschillen. De lamp is bedoeld voor gebruik in cleanrooms van klasse 1–100 en produceert geen deeltjes in een stabiele staat.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie Een zachte en een harde verhitting bepalen de cruciale dimensies. Met deze lamp bereikt men de gewenste temperatuur sneller, blijft deze stabiel en wordt de variabiliteit in de hoeveelheid oplosmiddelen verminderd. Dit resulteert in betere controle over de dimensies, minder fouten en minder afval. De energieverbruik neemt af omdat de reactie snel is en de tijd die nodig is om de temperatuur te bereiken korter is. De betrouwbaarheid verbetert ook: er zijn minder onverwachte stilstandstijden door lampwisselingen. Bovendien kan het procesbereik worden vergroot, zonder dat de recepten hoeven te worden aangepast.
Enkele praktische tips Voor de installatie is het belangrijk om rekening te houden met de polariteit en de koelvloeistofstroom. Als deze niet correct zijn, neemt de levensduur van de lamp af en wordt de uniformiteit slechter. De lamp werkt met standaard 24V-controlesignalen en veelgebruikte OEM-interfaces. Toch moet de alignering van de reflector tijdens de eerste instelling nogmaals worden gecontroleerd. Er is een opwarmtijd nodig om een thermisch evenwicht te bereiken. Na het vervangen van de lamp moet de verhittingskamer opnieuw worden gekalibreerd, zodat de temperatuurbepaling nog steeds binnen ±0,1°C blijft.