Как правильно производить обработку пластин (без лишних затрат энергии)
При обработке пластин все зависит от того, как мы управляем теплом. Большинство из нас использует инфракрасные лампы, но есть важный секрет: лампа — это лишь часть решения. Настоящее чудо происходит благодаря отражателям.
Если не быть осторожным, огромное количество дорогой энергии просто теряется. Это похоже на ситуацию, когда нужно нагреть всю комнату ради того, чтобы нагреть чашку кофе. Это плохо с точки зрения расходов, а также и для планеты.
Максимальное использование каждого вата
Отражатели помогают избежать потерь энергии. Вместо того чтобы позволять инфракрасной лампе излучать тепло во все стороны, мы используем отражатели, чтобы направлять энергию обратно на кремний.
Это простой трюк, но он позволяет удвоить количество полезной энергии без необходимости подключения большего количества энергии от сети. Если правильно настроить отражение света, можно снизить мощность лампы, но при этом сохранить нужную температуру.
Борьба с теплом и материалами
Выбор подходящего материала — сложная задача. Покрытые золотом поверхности отлично справляются с высокими значениями инфракрасного спектра и не окисляются. Еще есть высокопрочный алюминий, который часто используется в системах с коротковолновым излучением.
Но есть один недостаток: тепло заставляет материалы деформироваться. Если корпус не рассчитан на такую температуру, металл будет деформироваться. Даже небольшая деформация может привести к возникновению „холодных зон“ на пластине. И это приводит к тому, что продукция становится бракованной. Это настоящий кошмар.
Сокращение выбросов углерода
Чтобы сделать производство полупроводников более экологичным, не нужны какие-то чудодейственные лампы или сложные решения. Достаточно просто использовать базовые физические принципы.
Путем усиления фокуса инфракрасного излучения мы можем избежать лишних затрат на нагрев корпуса оборудования и окружающего воздуха. Кроме того, лучшие отражатели позволяют быстрее достичь нужной температуры. Это означает меньшие затраты на производство одной пластины.
Но будьте осторожны: при усилении излучения температура резко повышается. Обязательно проверьте свои контроллеры PID. Иначе вы можете повредить поверхность пластины, даже не заметив этого.