На производственном этаже застрявшая влага — будь то в фоторезисте или прямо на поверхности пластины — может испортить критически важные размеры деталей после обработки. Если не устранить эту влагу, это приведет к появлению на поверхности пластины осадков и остатков химикатов, что может сделать невозможным использование всей партии пластин. Поэтому мы используем специальные лампы для удаления влаги с поверхности пластин: они устраняют нестабильность, возникающую из-за наличия влаги на поверхности пластины.
Что важно при работе лампы
Мы разработали эту лампу с учетом требований к быстрой и точной термической реакции. Галогенные элементы обеспечивают высокую интенсивность излучения в коротких волнах, что позволяет быстро нагреть поверхность пластины. Кварцевый корпус сохраняет стабильность условий окружающей среды, даже при непрерывной работе лампы. В результате достигается термическая однородность на поверхности пластины в пределах ±0,1°C в активной зоне, что позволяет точно контролировать процесс обработки. Контроль температуры находится на высоком уровне, что позволяет защитить фоторезист от повреждений. Интенсивность излучения настроена таким образом, чтобы быстро удалить влагу, без чрезмерного нагрева.
Почему эта лампа подходит для использования в процессе литографии
В процессе литографии необходимо, чтобы пластина была сухой и стабильной перед обработкой, а затем — чтобы процесс обработки происходил в стабильных условиях. Эта лампа быстро высушивает поверхность пластины, а затем поддерживает необходимую температуру во время процесса обработки. Такая стабильность снижает количество необходимых корректировок, позволяет сохранять уровень чистоты в помещениях класса 1–100, а также обеспечивает предсказуемый контроль над параметрами обработки. Потребление энергии также остается на разумном уровне благодаря быстрому нагреву до нужной температуры — меньше лишнего тепла и меньше нагрузки на систему охлаждения.
Практические аспекты использования
Установка лампы происходит просто, но все равно необходимо настроить ее так, чтобы она соответствовала требованиям процесса. Интенсивность излучения меняется с зависимостью от расстояния, поэтому необходимо провести калибровку один раз и затем закрепить настройки. После технического обслуживания или замены лампы требуется небольшой период стабилизации — планируйте начало работы с учетом этого. Если лампа настроена правильно, она будет обеспечивать стабильное и предсказуемое удаление влаги и процесс обработки, день за днем.