На производственном участке всё знакомо: смещение температуры на 0,3°C во время отжига фоторезиста достаточно, чтобы забраковать всю партию. Инфракрасная лампа SK15 для печей обработки подложек создана для того, чтобы предотвратить это смещение в самом начале. Она напрямую воздействует на тепловой бюджет, обеспечивая стабильность профилей мягкого и жёсткого отжига, а также контроль критических размеров.
Технические характеристики
SK15 использует коротковолновое ближнее ИК-излучение (NIR), что обеспечивает быстрый объёмный нагрев с низкой тепловой инерцией. По поверхности подложки равномерность поддерживается в пределах ±0,1°C, а повторяемость — от импульса к импульсу. Излучатель остаётся чистым — отсутствует генерация частиц и выделение газов — что позволяет соответствовать ограничениям чистого помещения класса 1–100. Выходная мощность остаётся стабильной более 5 000 часов с падением менее 5%. Размеры лампы соответствуют стандартным портам печи, а крепление обеспечивает надёжность и повторяемость установки.
Печи для подложек требуют подачи тепла с быстрым выходом на заданный уровень, быстрого установления и отсутствия остаточного тепла. SK15 обеспечивает поддержание температуры камеры на заданном уровне без превышения, что сокращает время прогрева и стабилизации. Это даёт увеличение производительности, уменьшение количества переделок и сокращение брака.
Профили фоторезиста остаются стабильными между партиями и сменами, что способствует точности совмещения и равномерности критических размеров. Более быстрые нарастания температуры и стабильная выдержка снижают энергопотребление, что уменьшает эксплуатационные расходы на одну подложку.
Несколько важных моментов для учёта. SK15 совместима с большинством платформ печей для подложек, однако геометрия печи, расположение отражателей и воздушный поток по-прежнему влияют на итоговую равномерность. Рекомендуется провести короткий этап наладки для настройки PID-регулятора и подтверждения соответствия профиля отжига стэку резистов. По времени настройка займет немного больше, но после она обеспечит стабильную работу с минимальным обслуживанием.