Hidrojen sensörleri üretirken, wafer üzerindeki ısı dağılımının mükemmel olması gerekiyor. Tahmin yapmaya gerek yok. Bunu sağlamak için özel ısıtma lambaları ve altın kaplı yansıtıcılar kullanıyoruz.
Amaç oldukça basit: Yüzeye ulaşan her bir watt’lık enerjinin havaya karışmamasını sağlamak istiyoruz.
Neden altın? Çoğu kişi alüminyum yansıtıcılar kullanır, ancak sorun şu ki bunlar çok fazla enerjiyi emip dağıtıyorlar. Biz ise yüksek saflıkta altın kullanıyoruz; çünkü kızılötesi ışığı yansıtmada mükemmeldirler. Isıtıcı gövdesi yerine altın, ısıyı doğrudan wafer’e geri yönlendirir. Böylece daha dar bir odak noktası elde edilir ve tüm yüzeyde sabit bir sıcaklık sağlanır. Bu yöntem daha etkilidir.
Güç ve ısı dengesi Bir ısıtıcıya baktığınızda, wattaj ile yüzey alanı oranı, ne kadar hızlı ısınabileceğinizi gösterir. Yüksek wattajlı lambalar, ince film tabakası oluşturma işlemleri için idealdir. Ancak bir dezavantajı vardır: Bu kadar çok ısıyı küçük bir alana sıkıştırdığınızda, soğutma sistemlerinin bu fazla ısıyı idare edebilmesi gerekir. Eğer bunu başaramazlarsa, araçta bozulmalar meydana gelir ve bunları düzeltmek oldukça zordur.
Uygulamaya geçiş Bu ısıtıcıları, mevcut sistemlerin yerine takılabilir şekilde tasarladık. Tüm sistemizi yeniden kurmanıza gerek yok. Altın kaplı yansıtıcılar kullanarak genellikle hedeflenen sıcaklıklara ulaşılabilir ve aynı zamanda lambadan daha az güç kullanılır. Bu da hem güç kaynaklarının üzerindeki baskıyı azaltır hem de filamentlerin erken yanmasını engeller.
Eğer waferlerinizde soğuk noktalar varsa veya işlem süreleri uzuyorsa, muhtemelen “daha fazla güce” ihtiyacınız yoktur. Genellikle bu durum radyasyon kaybından kaynaklanır. Altın kaplı sistemlerle ısı akışının geometrisini düzeltmek bu sorunu çözer.