Sınıf 100 temiz oda koşullarını gerçekten temiz tutmak
Sınıf 100 ortamında çalışırken en son isteyeceğiniz şey, ısıtma elemanlarının ekipmanlarınızın üzerine parçacıklar bırakmasıdır. Bu durum, insanların düşündüğünden daha sık meydana gelir. Standart ısıtıcılar, termal döngüler sırasında parçalanma veya gaz salımı yapma eğilimindedir ve bu durum gerçekleştiğinde, waferleriniz veya yüksek hassasiyetli optik bileşenleriniz zarar görür.
Bunu çözmek için yüksek saflıkta sentetik kuvars IR lambaları kullanıyoruz. Bunlar, herhangi bir kirlilik yaratmadan vakum odalarında kullanılmak üzere özel olarak tasarlanmıştır.
Sır, kuvarste yatıyor.
Metalik kirleticilerden arındırılmış erimiş silika kullanıyoruz. Neden mi? Çünkü lamba maksimum sıcaklığa ulaştığında, uçucu organik bileşiklerin dışarı atılmasını istemeyiz. Bazı kişiler kaplamalı lambalar kullanır; ancak bunlar zamanla soyulabilir. Bizim kristal kuvarslarımız ise stabil kalır. Parçalanmaz ve hızlı ısınma/soğuma durumlarında bile çatlamaz. Sadece işlevini yerine getirir.
Lambaları vakum odasına yerleştirme
Bu lambaları vakum ortamına yerleştirmek için detaylara dikkat etmek gerekir. Lambaların basınç farklarına dayanabilmesi için özel olarak tasarlanmıştır; böylece sızıntılardan endişelenmenize gerek kalmaz.
Bir ipucu: Giriş noktalarındaki contaların havasız olmasına dikkat edin. Isıyı uzaklaştıracak hava olmadığı için her şey radyasyon yoluyla gerçekleşir. Enerji doğrudan iş parçasına ulaşır. Bu yöntem verimlidir, ancak oldukça yoğundur.
Dikkat edilmesi gereken noktalar
Yüksek saflıkta kuvars, IR enerjisi için mükemmeldir; ancak kırılgandır. Montaj sırasında dikkatsiz davranılırsa lamba kırılabilir. Ayrıca, bu lambalar çok fazla ısı ürettiği için soğutma sistemlerinin doğru şekilde çalışması gerekir. Aksi takdirde vakum odasının duvarlarında bozulmalar meydana gelebilir ve bu da çözülmesi zor bir sorundur.
Sistemin sürekli çalışmasını sağlama
Bu lambaları hızlı bir şekilde değiştirebilecek şekilde tasarladık; çünkü kimse temiz oda işlerinin durmasını istemez. Lambaları monte ederken konektörlerle ilgili dikkatli olun. Doğru tork değerlerini kullanın; aşırı sıkıştırmaktan kaçının, aksi takdirde kuvarsta stres kırıkları oluşur.
Eğer lambanın gücünde azalma fark ederseniz, bunu telafi etmek için lambaya aşırı voltaj uygulamaktan kaçının. Bu, filamanın yanmasına neden olur. Lambayı değiştirip PID kontrol cihazını yeniden ayarlayın. Böylece uzun vadede birçok sorundan kaçınmış olursunuz.