Litografideki pişirme işlemi, sadece bir ısınma işlemi değildir; bu aslında bir işlemdir. Yumuşak pişirme sırasında meydana gelen 2°C’lik bir değişiklik, fotorezistin sıcaklık eşiğini değiştirebilir. Sert pişirme işleminde ise düzensizlikler ortaya çıkarak kenar bölgelerinde ve çizgi genişliklerinde sorunlara yol açar. Güvenebileceğiniz bir sıcaklık kontrolüne ihtiyacınız vardır; tesadüflere bırakılacak bir durum değildir.
Teknik olarak önemli olan şeyler:
Wafer üzerinde hassas bir IR sensör kullanıyoruz; bu sayede pişirme sırasında waferin tüm yüzeyinde sıcaklık farkı ±0,1°C civarında kalıyor. Üretim sürecinde tekrarlanabilirlik ise lotlar arasında ±0,05°C düzeyinde oluyor. Sensör başlığı, Class 1–100 standartlarına uygun şekilde tasarlanmıştır ve parça üretmemesi için özel olarak geliştirilmiştir. Kuvars/halojen emittörü sayesinde stabil ve tekrarlanabilir bir NIR sinyali elde ediliyor; ayrıca sıcak noktalar oluşmuyor.
90°C ile 250°C arasındaki sıcaklıklarda fotorezistin pişirilmesi mümkün oluyor ve sistem, planlanmayan duruşlar olmadan 24/7 çalışacak şekilde tasarlanmıştır.
Neden fabrikalarda işe yarıyor?
Pratikte, yumuşak pişirme her seferinde fotorezisti aynı şekilde hazırlar. Sert pişirme ise profili sabit tutar ve aşırı ısınmalara izin vermez. Isı kontrolü sayesinde litografik işlemler daha iyi sonuç verir. Daha az kalite kontrolü gereklidir, atık miktarı azalır ve işlem süreleri kısalar. Enerji tüketimi de azalır; çünkü pişirme işlemi fotorezistin kimyasitesine göre ayarlanır, tahminlere dayanmaz.
Bilmeniz gerekenler:
Kurulum sırasında pişirme plakasının geometrisi ve emisyon değerlerinin uyumlu olması gerekmektedir. Kalibrasyon kiti ve 30 dakikalık bir entegrasyon kontrol listesi sağlıyoruz. Eski sistemlerde kurulum süresinde küçük bir artış olabilir; ancak ayarlamalar yapıldıktan sonra işlem süreci daha verimli hale gelir. En iyi stabilite için sensörün etrafının kirlerden arındırılması ve periyodik bakımlarla temizliğinin kontrol edilmesi gerekmektedir.