Чому випромінювачі інфрачервоного випромінювання кращі за гаряче повітря у процесах напівпровідникової обробки
Якщо ви все ще користуєтесь гарячим повітрям для процесів обробки, ви, по суті, витрачаєте занадто багато часу на очікування.
Подумайте про це: повітря – поганий провідник тепла. Ви витрачаєте чимало енергії на нагрівання великої кількості газу, перш ніж тепло взагалі потрапить на вашу пластину. Цей процес є дуже повільним.
Випромінювачі інфрачервоного випромінювання змінюють ситуацію. Вони уникають використання посередників та передають енергію безпосередньо на поверхню матеріалу.
Секрет керамічних закінчень
Коли мова йде про такі високі температури, місце, де електричний провідник контактує з кварцовою трубкою, стає проблемним. Якщо не бути обережним, теплові втрати можуть пошкодити корпус пристрою чи проводку. Це не є сприятливими умовами для роботи.
Ось чому ми використовуємо керамічні закінчення. Вони слугують захистом, забезпечуючи необхідний ізоляційний ефект та захист від теплових втрат. Це дозволяє теплу залишатися саме там, де йому потрібно – на поверхні випромінювача – а не біля контакторів.
Швидкість та економія простору
Різниця у швидкості є значною. Системи інфрачервоного випромінювання досягають потрібної температури за кілька секунд. А з гарячим повітрям потрібно чекати хвилини, щоб все стабілізувалося. Для тих, хто працює з такими пристроями, це означає швидше запуск процесу та скорочення часу його виконання.
Крім того, зменшується площа, необхідна для розміщення пристрою. Не потрібно використовувати великі вентилятори та складну систему трубопроводів. Ми розробляємо пристрої з високою щільністю потужності, щоб тепло потрапляло саме туди, де йому потрібно. Більше немає потреби витрачати енергію на нагрівання всієї камери лише для того, щоб одна точка стала гарячою.
Недоліки (Тому що ніщо не є ідеальним)
Я не буду стверджувати, що інфрачервоне випромінювання є ідеальним рішенням. Є речі, на які потрібно звертати увагу.
Оскільки інтенсивність випромінювання є дуже високою, відбивачі повинні бути ідеально налаштовані. Якщо вони не налаштовані правильно чи зношуються, на пластині можуть з’явитися холодні ділянки.
Крім того, через швидке підвищення температури виникає велике навантаження на з’єднання між кварцом та керамікою. Не можна просто швидко підвищувати температуру – потрібно контролювати цей процес. Інакше може виникнути тепловий удар чи передчасне зношування пристрою.