На поверхні пластини залишений вологий шар – чи то в самому фоторезисті, чи прямо на поверхні пластини – може зіпсувати її критичні параметри після...

Під час процедури промивання пластинка виходить з розчину, і починає тикати таймер. Будь-яка залишкова волога призводить до утворення небажаних...