На лінії 300 мм процес випалювання фотополімеру вимагає розумного використання теплової енергії – або ж її марнування. Недостатня однорідність температури проявляється у змінах ширини ліній на поверхні пластини. Якщо процес забруднюється в результаті вивільнення газів чи утворення частинок, це призводить до необхідності повторного оброблення матеріалу. Потрібне джерело тепла, яке забезпечує стабільну температуру під час кожної процедури, без необхідності постійно контролювати умови в чистій кімнаті.
Що є важливим у цьому процесі
Ми використовуємо інфрачервоні лампи на основі молібдену – високоемісійні філаменти молібдену, розташовані всередині кварцової оболонки, призначеної для роботи в діапазоні коротких хвиль інфрачервоного світла. Спектр світла збігається з спектром поглинання фотополімеру, тож розчинники видаляються швидко, а поверхня підложки залишається стабільною.
У зоні випалювання однорідність температури становить ±0,1°C, а повторюваність процедур – краща, ніж ±0,2°C. Конструкція лампи з молібденовою основою забезпечує стабільну геометрію під тепловим навантаженням, тож не виникає „гарячих точок“ чи „холодних країв“. Ефективність лампи залишається стабільною протягом 5 000+ годин, з відхиленням інтенсивності світла менше ніж на 5%. Корпус лампи розроблений для роботи в чистих кімнатах класу 1–100, і при стабільній роботі вона не створює жодних частинок.
Чому це важливо в процесі літографії
Процеси м’якого та жорсткого випалювання впливають на критичні розміри. За допомогою цієї лампи можна швидко досягти потрібної температури, підтримувати її на стабільному рівні та зменшити варіації кількості розчинника на поверхні підложки. Це призводить до кращого контролю розмірів, меншої кількості неточних результатів та меншої кількості відходів. Використання енергії також зменшується завдяки швидкій реакції лампи та короткому часу її роботи. Надійність також покращується – менше неспланованих зупинок через заміну лампи. Крім того, можна розширити діапазон параметрів процесу без необхідності зміни параметрів процедури.
Кілька практичних порад
Встановлення лампи залежить від полярності та потоку охолоджувальної рідини. Якщо ці параметри не будуть правильними, термін служби лампи зменшується, а однорідність температури погіршується. Лампа працює зі стандартними сигналами керування 24 В та загальноприйнятими інтерфейсами OEM, але все одно необхідно перевірити правильність розташування відбивача під час першої налаштування. Потрібен час для досягнення термічної рівноваги; після заміни лампи необхідно переналаштувати камеру для збереження параметра однорідності температури на рівні ±0,1°C.