Подумайте про звичайну конвективну піч. Вона нагріває все – повітря, решітки та навіть зовнішні стіни. У кімнаті з чистим середовищем для праці з напівпровідниками це є проблемою. Оператори можуть обпектися, якщо торкнуться корпусу печі, а також витрачається багато енергії на нагрівання металевих стін, які насправді не потребують такої температури.
Ми знайшли кращий спосіб – це напрямлене інфрачервоне нагрівання. Секрет у тому, що замість нагрівання повітря, лампи інфрачервоного випромінювання посилають випромінювання у прямій лінії. Воно потрапляє прямо на об’єкт обробки. За допомогою відбивачів можна спрямувати тепло саме туди, де це необхідно. Таким чином, центр камери залишається дуже гарячим, а стіни печі залишаються прохолодними на дотик.
Для цього ми використовуємо кварцові лампи короткої хвилі. Вони чудові, тому що проникають глибше в матеріал та реагують майже миттєво. Якщо поєднати їх із контролерами швидкого перемикання, можна досягти надзвичайно точного контролю температури.
Але є один недолік. Оскільки тепло є дуже інтенсивним, якщо об’єкт знаходиться занадто близько чи відбивачі розташовані неправильно, можна пошкодити елементи обладнання. Тож потрібно ретельно налаштувати параметри контролера, щоб уникнути перегріву.
Але справжня перевага полягає у ефективності. Більше не потрібно боротися з тепловою масою величезної металевої коробки. Усе нагрівається швидше, а система опалення та охолодження не повинна працювати постійно, щоб охолодити приміщення. Крім того, працівники можуть працювати без жодних побоювань щодо опіків.
Якщо потрібен менший розмір та більш точний контроль, це чудова альтернатива старомодним елементам нагріву.