
Як правильно висушувати пластини (без марнування енергії)
Під час висушування пластин усе залежить від того, як ми керуємо теплом. Більшість з нас використовують інфрачервоні лампи, але секрет полягає у тому, що лампа – це лише половина рішення. Справжня „магія“ відбувається завдяки відбивачам.
Якщо не бути обережним, велика кількість цієї дорогої енергії просто витікає з камери. Це все одно, що нагрівати всю кімнату лише для того, щоб нагріти чашку кави. Це погано як з точки зору фінансів, так і з точки зору життя планети.
Максимальне використання кожного ватта
Уявіть собі відбивач як засіб для уникнення марнування енергії. Замість того, щоб дозволяти інфрачервоній лампі випромінювати тепло в усіх напрямках, ми використовуємо відбивачі, щоб перехоплювати енергію, яка йде не в потрібному напрямку, та відбивати її назад на кремній.
Це простий трюк, але завдяки йому можна подвоїти кількість корисної енергії, не потребуючи додаткової енергії від мережі. Коли коефіцієнт відбиття правильний, можна зменшити потужність лампи, але при цьому досягти бажаної температури.
Боротьба з теплом та матеріалами
Вибір правильного матеріалу є складним завданням. Підложки, покриті золотом, є чудовим варіантом – вони ефективно поводяться з високочастотними інфрачервоними променями та не окислюються. Також використовується алюміній високої чистоти, який зазвичай використовується для систем короткохвильового випромінювання.
Але є одна проблема: тепло змушує матеріали деформуватися. Якщо корпус не розрахований на таку температуру, метал деформується. Навіть невелика деформація може створити „холодні точки“ на пластині. Це призводить до нерівномірного висушування пластин, а отже, до великої кількості непридатних продуктів. Це справжній кошмар.
Реальне зменшення викидів вуглецю
Створення „зеленої“ фабрики з виробництва напівпровідників не передбачає використання якихось чудесних ламп чи складних технологій. Це просто питання базової фізики.
Шляхом точного налаштування фокусу інфрачервоного променя ми уникаємо марнування енергії на нагрівання корпусу машини та повітря навколо неї. Крім того, кращі відбивачі дозволяють швидше досягти бажаної температури. Це означає менше кіловат-годин на одну пластину.
Однак слід пам’ятати: коли фокус променя налаштовується точно, все стає дуже гарячим. Варто уважно перевірити контролери PID. Інакше можна пошкодити поверхню пластини, навіть не усвідомлюючи цього.