На поверхні пластини залишений вологий шар – чи то в самому фоторезисті, чи прямо на поверхні пластини – може зіпсувати її критичні параметри після процедури експозиції. Якщо не позбутися цього вологого шару, на поверхні утворюються небажані включення та залишки речовин, які можуть зіпсувати всю партію продукції. Саме тому ми використовуємо лампи для видалення вологи з пластини: вони усувають нерівномірності, які виникають через наявність вологи на поверхні пластини.
Що є важливим у цій лампі
Цю лампу було створено з урахуванням можливості швидкої термічної реакції. Галогенні елементи забезпечують високу інтенсивність світіння короткохвильового світла, що дозволяє швидко нагріти поверхню пластини. Кварцовий корпус забезпечує стабільні умови навіть під час постійної роботи лампи. Результатом є термічна однорідність на поверхні пластини в межах ±0,1°C, що дозволяє досягати точних результатів під час процедур Soft Bake та Hard Bake. Контроль температури є достатньо точним, щоб захистити фоторезист від негативного впливу температури. Інтенсивність світіння налаштовується так, щоб волога швидко видалялась без перевищення необхідних значень.
Чому ця лампа підходить для літографічного обладнання
У процесі літографії необхідно, щоб пластина була сухою та стабільною перед процедурою експозиції, а потім – щоб вона залишалася такою ж під час процедур обробки. Ця лампа швидко висушує поверхню пластини, а потім підтримує необхідну температуру під час процедур Soft Bake та Hard Bake. Така стабільність дозволяє уникнути необхідності повторної обробки, зберігає правильний рівень частинок у чистих приміщеннях класу 1–100, а також забезпечує точний контроль параметрів під час процедури етчингу. Використання енергії також є ефективним завдяки швидкому досягненню необхідної температури – менше витрат енергії на неробочий час та менше навантаження на систему охолодження.
Практичні деталі
Встановлення лампи є простим, але все одно необхідно налаштувати її положення та фокусну відстань відповідно до вимог процесу. Інтенсивність світіння змінюється залежно від відстані, тож потрібно провести калібрування один раз та зафіксувати параметри. Після технічного обслуговування чи заміни лампи необхіден короткий період стабілізації – потрібно спланувати початок процесу відповідно до цього. Якщо налаштувати лампу правильно, вона буде забезпечувати стабільне та точне видалення вологи та ефективну обробку пластини щодня.