Ra ngoài dây chuyền, việc gắn chip lật là một điệu nhảy mong manh khi hồ sơ nhiệt bắt đầu trôi dạt. Một điểm nóng, và bạn có thể làm đầy dưới một bump. Một vùng lạnh, và bạn sẽ có các khoảng trống. Đèn sưởi ngồi chính giữa trong ngân sách nhiệt, và khi chúng ta tiếp tục thu nhỏ các nút, cửa sổ quy trình đó ngày càng hẹp lại. Chúng tôi đã chế tạo đèn sưởi cho việc gắn chip lật của mình để giữ cho cửa sổ đó không bị thu hẹp.
Những gì quan trọng, về mặt kỹ thuật
Chúng tôi chạy sóng hồng ngoại ngắn (NIR) qua một vỏ thạch anh để nhiệt được truyền trực tiếp vào nền tảng—nhanh chóng và sạch sẽ. Trên khu vực gắn, độ đồng nhất ở mức wafer giữ ở ±0.1°C, và khả năng lặp lại giữa các lần chạy vẫn bám sát vì đầu ra của đèn được kiểm soát vòng kín dựa trên dữ liệu nhiệt kế đã được lập bản đồ. Tính tương thích với phòng sạch không phải là thứ chúng tôi gắn thêm: chúng tôi chọn vật liệu và bề mặt để giữ việc sinh ra hạt gần như bằng không, vì vậy nó có thể hoạt động thoải mái trong môi trường Class 1–100. Hệ thống hoạt động 24/7 với khoảng thời gian bảo trì dự đoán được, và độ trôi đầu ra giữ dưới 5% trong hơn 5,000 giờ.
Tại sao điều này hoạt động trong thực tế
Trong việc gắn chip lật, bạn cần một quá trình tăng nhiệt nhanh, có kiểm soát để làm chảy thiếc mà không làm tổn hại đến lớp dưới hoặc các phim low-k. Đèn này đạt điểm thiết lập nhanh chóng, sau đó giữ ổn định mà không bị vượt quá, vì vậy chu trình nhiệt có thể lặp lại và chỉ số Cp/Cpk giữ ở mức cần thiết. Cùng một đèn cũng đảm nhiệm hai chức năng trong các bước liền kề—nướng mềm photoresist và nướng cứng—nơi độ chính xác nhiệt độ bảo vệ kiểm soát độ rộng đường và giảm thiểu hiệu ứng bề mặt. Lợi ích: ít lô làm lại hơn, năng suất ổn định, và tiêu thụ năng lượng thấp hơn cho mỗi đơn vị được xử lý.
Dưới đây là các chi tiết thực tiễn
Đèn có thể được lắp vào các máy gắn tiêu chuẩn và các mô-đun lò, nhưng giao diện nhiệt phải khớp với đường dẫn nhiệt của công cụ. Bạn sẽ có một khoảng thời gian đưa vào ngắn để căn chỉnh bản đồ đèn với bản đồ giai đoạn. Và trong khi NIR mang lại phản ứng nhanh, việc căn chỉnh phản xạ rất nhạy cảm—hãy coi đó là biến số được kiểm soát trong quá trình thiết lập, và khóa nó vào lịch bảo trì phòng ngừa.