Ngăn chặn sự lãng phí nhiệt trong quá trình sản xuất cảm biến hydro
Khi chế tạo cảm biến hydro, nhiệt độ trên bề mặt wafer phải được kiểm soát chính xác. Không thể để có sự sai lệch nào xảy ra. Để đạt được điều này, chúng tôi sử dụng các loại bóng đèn sưởi chuyên dụng cùng các bộ phản xạ được phủ bằng vàng.
Mục tiêu rất đơn giản: chúng ta muốn mọi watt năng lượng đều được truyền vào bề mặt wafer, chứ không bị lãng phí trong không khí.
Tại sao chọn vàng?
Hầu hết mọi người thường sử dụng các bộ phản xạ bằng nhôm, nhưng vấn đề là chúng hấp thụ và phản xạ quá nhiều năng lượng. Chúng tôi chuyển sang sử dụng vàng vì kim loại này có khả năng phản xạ ánh sáng hồng ngoại rất tốt. Thay vì để bộ phận gia nhiệt hấp thụ nhiệt, vàng sẽ đẩy nhiệt trở lại về phía wafer. Nhờ đó, nhiệt độ trên toàn bề mặt wafer sẽ được duy trì ổn định. Cách này hiệu quả hơn nhiều.
Cân bằng giữa công suất và nhiệt lượng
Khi xem xét các bộ gia nhiệt, tỷ lệ giữa công suất và diện tích bề mặt sẽ cho biết tốc độ gia nhiệt của thiết bị. Các bóng đèn có công suất cao rất hữu ích khi cần tăng nhiệt độ nhanh cho quá trình lắng đọng lớp màng mỏng. Nhưng cũng có nhược điểm: khi tập trung quá nhiều nhiệt vào một khu vực nhỏ, hệ thống làm mát sẽ phải gánh vác lượng nhiệt dư thừa. Nếu không làm được điều đó, khung thiết bị sẽ bị biến dạng, và việc sửa chữa sẽ rất khó khăn.
Áp dụng vào thực tế
Chúng tôi chế tạo các bộ gia nhiệt này để thay thế các bộ gia nhiệt cũ một cách dễ dàng. Bạn không cần phải xây dựng lại toàn bộ hệ thống. Bằng cách sử dụng các bộ phản xạ được phủ bằng vàng, bạn có thể đạt được nhiệt độ mong muốn mà vẫn sử dụng ít năng lượng hơn từ bóng đèn. Đó là giải pháp tốt nhất – vừa giảm áp lực lên các nguồn cung cấp năng lượng, vừa giúp các sợi dây tóc không bị cháy quá nhanh.
Nếu bạn nhận thấy có những vùng lạnh trên bề mặt wafer hoặc thời gian xử lý kéo dài, có lẽ lý do không phải do cần nhiều năng lượng hơn. Thông thường, đó chỉ là do sự mất mát năng lượng do bức xạ. Việc sử dụng hệ thống phản xạ bằng vàng thường giúp giải quyết vấn đề này.