Trong quy trình in ấn bằng phương pháp lithography, việc nung khô vật liệu không chỉ là bước chuẩn bị mà còn chính là quy trình sản xuất thực sự. Sự thay đổi nhiệt độ 2°C trong quá trình nung khô có thể làm thay đổi giá trị Tg của chất cảm quang; đồng thời, sự không đồng đều về nhiệt độ trong quá trình nung khô cũng gây ra những vấn đề như sự biến đổi kích thước các đường nét trên bề mặt vật liệu. Do đó, cần có hệ thống kiểm soát nhiệt độ chính xác, chứ không thể chỉ dựa vào may mắn.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật: Chúng tôi sử dụng cảm biến hồng ngoại chính xác để duy trì mức độ đồng đều về nhiệt độ trên bề mặt wafer ở mức ±0,1°C; độ lặp lại của quá trình nung khô cũng được kiểm soát ở mức ±0,05°C giữa các lô sản xuất khác nhau. Cảm biến này phù hợp với môi trường sạch loại Class 1–100, và được thiết kế sao cho không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào. Nguồn phát ánh sáng bằng thạch anh/halogen giúp tạo ra nguồn ánh sáng hồng ngoại ổn định và có thể lặp lại được – không có điểm nóng nào xảy ra. Hệ thống này có thể kiểm soát nhiệt độ trong khoảng từ 90°C đến 250°C một cách chính xác, và có thể hoạt động 24/7 mà không gặp sự cố nào.
Tại sao hệ thống này hiệu quả trong các nhà máy sản xuất: Trong thực tế, quá trình nung khô mềm giúp đồng nhất hóa chất cảm quang trong mỗi lần sản xuất. Quá trình nung khô cứng giúp duy trì mức nhiệt độ ổn định, tránh sự sai lệch. Nhờ đó, chất lượng sản phẩm được cải thiện vì lịch sử nhiệt độ luôn ổn định. Bạn sẽ cần ít lô sản phẩm thử nghiệm hơn, giảm lượng vật liệu thải, và rút ngắn thời gian sản xuất. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm đi, vì quá trình nung khô được điều chỉnh phù hợp với đặc tính hóa học của chất cảm quang, chứ không phải dựa vào suy đoán.
Những điều bạn cần biết: Việc lắp đặt hệ thống đòi hỏi phải đảm bảo rằng kích thước của bề mặt nung khô và độ phản xạ ánh sáng của vật liệu phù hợp với yêu cầu. Chúng tôi cung cấp bộ dụng cụ hiệu chuẩn và danh sách kiểm tra trong 30 phút. Thời gian thiết lập hệ thống có thể tăng lên một chút, nhưng một khi đã được điều chỉnh đúng cách, quy trình sản xuất sẽ diễn ra một cách ổn định. Để đảm bảo độ ổn định tối đa, hãy giữ cho khu vực của cảm biến không bị dính bụi bẩn, và kiểm tra mức độ sạch sẽ trong quá trình bảo trì định kỳ.