Hãy ngừng chờ đợi chiếc lò nướng của bạn đi: Tại sao phương pháp sưởi bằng tia hồng ngoại lại hiệu quả hơn trong quy trình xử lý bán dẫn
Rất nhiều nhà máy sản xuất bán dẫn vẫn sử dụng phương pháp sưởi bằng luồng không khí nóng. Nếu bạn từng làm việc trong môi trường này, bạn chắc hẳn biết rõ quy trình này: Không khí được làm nóng, sau đó không khí ấy lại làm nóng toàn bộ buồng xử lý. Cuối cùng, wafer mới được làm nóng. Đây là một quy trình chậm chạp. Giống như việc phải chờ cho một nồi nước sôi vậy, trong khi thực ra chỉ cần làm nóng wafer một cách nhanh chóng thôi.
Đó là lý do tại sao ngày càng nhiều người chuyển sang sử dụng phương pháp sưởi bằng tia hồng ngoại. Phương pháp này loại bỏ được bước trung gian này. Thay vì làm nóng toàn bộ căn phòng, tia hồng ngoại truyền năng lượng trực tiếp vào vật cần được làm nóng.
Chi phí khi phải chờ đợi
Hệ thống sưởi bằng không khí nóng có tính trì hoãn cao – tức là cần rất nhiều thời gian để đạt được nhiệt độ mong muốn. Bạn phải chờ hàng phút trên màn hình, chờ cho buồng xử lý đạt đến nhiệt độ cần thiết.
Với phương pháp sưởi bằng tia hồng ngoại, bạn chỉ cần vài giây để đạt được nhiệt độ mong muốn. Đối với các kỹ sư, đây là một lợi thế lớn. Bạn không chỉ tiết kiệm được chi phí điện năng, mà còn có thể xử lý nhiều wafer hơn mỗi giờ. Như vậy, toàn bộ quy trình sẽ diễn ra nhanh hơn.
Vấn đề liên quan đến dây dẫn
Đây là điểm mà mọi chuyện thường gặp vấn đề: dây dẫn. Dây dẫn PVC thông thường không thể sử dụng được trong trường hợp này. Chúng sẽ bị nóng chảy ngay khi tiếp xúc với nhiệt độ cao. Vì vậy, chúng ta sử dụng dây dẫn được phủ lớp Teflon. Loại dây này có thể chịu được nhiệt độ cao mà không bị hỏng hay gây ra hiện tượng ngắn mạch. Nó giúp duy trì dòng điện ổn định, ngay cả khi máy sưởi hoạt động ở mức tối đa.
Đây không phải là phép màu
Tuy nhiên, phương pháp sưởi bằng tia hồng ngoại cũng không phải là giải pháp hoàn hảo. Vì tia hồng ngoại có tính hướng mạnh, bạn cần phải xác định chính xác vị trí đặt các đèn sưởi. Nếu sai lệch một chút thôi, wafer vẫn sẽ bị ở vùng có nhiệt độ thấp.
Bạn không thể đơn giản đặt bộ sưởi bằng tia hồng ngoại vào lò nướng thông thường và hy vọng mọi thứ sẽ ổn. Bạn cần phải tính toán kỹ lưỡng vị trí đặt các đèn sưởi, và chú ý đến việc luồn dây dẫn. Hãy đảm bảo rằng dây dẫn được phủ lớp Teflon không nằm trực tiếp dưới ánh sáng của các đèn sưởi; nếu không, bạn sẽ phải thay thế chúng sớm hơn dự kiến.
Dù vậy, đối với những ai hoạt động trong lĩnh vực sản xuất bán dẫn yêu cầu độ chính xác cao, phương pháp sưởi bằng tia hồng ngoại vẫn là lựa chọn tốt nhất. Nó giúp loại bỏ khoảng thời gian chờ đợi, điều mà thường làm giảm năng suất công việc.