في هذه المرحلة، يخرج الرقاقة من عملية الغسيل، ويبدأ الزمن في العمل. أي رطوبة متبقية تظهر على شكل بقع أو تشوهات في سطح الرقاقة، وهو أمر غير مقبول. لذا، من الضروري استخدام خطوة تجفيف سريعة، دون أن يؤثر ذلك على درجة الحرارة أو يضيف جسيمات إلى الرقاقة.
ما الذي يهم حقًا؟ لقد صممنا مصباح إزالة الرطوبة باستخدام أشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة داخل غلاف من الكوارتز، مع استخدام مرايا توجه الحرارة نحو الرقاقة نفسها، وليس نحو الغلاف. وهذا يضمن توزيعًا متساويًا لدرجة الحرارة في المنطقة المضاءة، بحيث تظل درجة حرارة الرقاقة ضمن النطاق المحدد أثناء عمليات التجفيف. كما أن التوافق مع ظروف الغرف النظيفة مهم أيضًا؛ فالعمل في الفئات من 1 إلى 100 يتم باستخدام مكونات ذات انبعاثات منخفضة، بالإضافة إلى وصلات مغلقة بإحكام، ومستوى جسيمات منخفض. كما أن قابلية التكرار عالية، حيث لا تتجاوز الانحرافات 1% على مدار آلاف الدورات، ويمكن للنظام مواكبة درجة الحرارة المطلوبة بسرعة كبيرة، مما يساعد على الحفاظ على الأبعاد الدقيقة للرقاقة.
لماذا يُستخدم في عملية الطباعة الضوئية؟ في عملية الطباعة الضوئية، يقوم المصباح بإزالة الرطوبة من سطح الرقاقة قبل طبقة الحماية، مما يمنع مشاكل مثل تراكم الرطوبة أو تشوهات الحواف. كما أنه يضمن توزيعًا متساويًا لدرجة الحرارة في نفس المكان في كل مرة، مما يمنع تغير درجة الحرارة في الأجزاء العلوية والسفلية من الرقاقة. هذا النوع من الاستقرار يقلل من الوقت اللازم للتجهيز، ويقلل من الحاجة إلى إعادة العمل، بالإضافة إلى توفير الطاقة، لأن المصباح يسخن المنطقة المستهدفة فقط. ويظهر الاستقرار في استمرارية العمل، حيث تعمل الأجهزة لأكثر من 5,000 ساعة دون أن تنخفض الكفاءة بأكثر من 5%， كما أن فترات الصيانة تزداد، دون زيادة المخاطر.
ما الذي يجب الانتباه إليه؟ يعمل المصباح مع واجهات SEMI القياسية، لكن يجب الانتباه إلى الفجوات الحرارية ومسارات التهوية أثناء التركيب. كما أن الغلاف الكوارتزي لا يتحمل الصدمات الميكانيكية، لذا يجب التعامل معه وفقًا للمعايير المحددة. كما يجب استخدام كابلات طاقة وإشارات مناسبة للغرف النظيفة، بالإضافة إلى التأكد من أن غازات العملية وخطوط التهوية تتوافق مع قائمة المواد المستخدمة.