في ورشة التصنيع، يمكن للرطوبة المتراكمة – سواء كانت داخل مادة الفوتوريزست أو على سطح الرقاقة نفسها – أن تتسبب في تلف الخصائص الهامة للرقاقة بعد عملية...

في هذه المرحلة، يخرج الرقاقة من عملية الغسيل، ويبدأ الزمن في العمل. أي رطوبة متبقية تظهر على شكل بقع أو تشوهات في سطح الرقاقة، وهو أمر غير مقبول....