Hören Sie den Scherben zu: Warum Ihr Spülvorgang wasserdichte Infrarotlampen benötigt
Wenn Ihnen bereits einmal eine Infrarotlampe während des Spülvorgangs beschädigt wurde, wissen Sie genau, wie schlimm das sein kann. Es ist ein Albtraum – man muss nicht nur mit einer defekten Komponente umgehen, sondern auch mit Glasscherben und chemischen Rückständen auf den Wafern. Das führt zu sofortiger und teurer Kontamination.
Wir hatten genug davon, dass das immer wieder passiert, deshalb haben wir eine wasserdichte Infrarotlampe entwickelt, die wirklich funktioniert.
Das Problem mit den Wassertröpfchen
Problem: Wenn Wassertröpfchen auf einen heißen Quarztubus treffen, sinkt die Temperatur an dieser Stelle sofort. Das ist eine thermische Belastung. Dadurch entstehen winzige Risse, die man kaum sehen kann. Doch bei hoher Produktionsleistung werden diese Risse immer größer – bis der Tubus schließlich zerbricht.
Um dieses Problem zu lösen, haben wir auf einen speziellen Quarzkern umgestellt. Dieser hat einen geringeren Wärmeausdehnungskoeffizienten – das bedeutet, er kann Feuchtigkeit besser vertragen, ohne zu reißen. Er kann also die Belastungen besser bewältigen.
Verhindern von Feuchtigkeit
Eine herkömmliche Lampe in einem feuchten Umfeld ist im Grunde wie eine Zeitbombe. Wir haben daher ein Abdichtungssystem am Ende der Lampe eingebaut, damit keine Feuchtigkeit in die elektrischen Kontakte gelangen kann. Keine Überspannungen mehr – kein vorzeitiges Verschleiß.
Außerdem gibt es noch das Problem der Ablagerungen. Wenn Sie diese Lampen bereits verwendet haben, wissen Sie, dass Mineralablagerungen aus dem Wasser „heiße Punkte“ auf dem Tubus erzeugen. Diese Punkte stören die Wärmeverteilung und können letztendlich den Quarzt zerstören. Wir haben die Außenseite der Lampe so behandelt, dass sie gegen solche Ablagerungen resistent ist. Dadurch bleibt die Oberfläche sauber – und die Wärme verteilt sich gleichmäßig über die Wafer.
Ein paar Dinge, die man beachten sollte
Nichts ist perfekt. Durch die zusätzliche Abdichtung entsteht eine weitere Isolierschicht. Dadurch ist die thermische Reaktion etwas langsamer als bei einer normalen Lampe. Das ist zwar kein Problem, aber wenn Sie präzise Temperaturen steuern möchten, müssen Sie die PID-Einstellungen entsprechend anpassen.
Das Beste daran: Diese Lampen können einfach als Ersatz für die vorhandenen Lampen verwendet werden. Sie passen direkt in Ihre vorhandenen Spülstationen. Stellen Sie nur sicher, dass Ihre Stromversorgung die Leistung der wasserdichten Lampe bewältigen kann – sonst könnte es zum Ausfall des Systems kommen.