Verhindern Sie Schäden: Halten Sie Ihre Wafer sauber, wenn die Lampen versagen
In einer Produktionsstätte mit hohem Arbeitsaufkommen ist das Versagen einer Lampe nicht einfach nur ein „technischer Fehler“ oder eine kurze Unterbrechung der Produktion – es handelt sich dabei um einen echten Albtraum. Wenn eine Quarztube platzt, fallen Glassplitter sowie Tungstfilamente auf die Wafer herab. Dadurch werden ganze Chargen unbrauchbar. Es entsteht Chaos, es entstehen hohe Kosten – und das kann eigentlich vermieden werden. Deshalb haben wir Infrarot-Lampen entwickelt, die dem Druck standhalten können.
Warum brechen die Lampen eigentlich?
Meistens liegt das an thermischem Schock oder an lokalen Hitzenpunkten. Um dieses Problem zu lösen, verwenden wir hochreinen verschmolzenen Quarz. Er eignet sich besonders gut, weil er schnelles Erhitzen und Abkühlen ohne Risse überstehen kann. Wir achten außerdem sehr auf die Wandstärke sowie die Füllung mit Halogenstoffen. Wenn diese Werte konstant sind, entstehen keine inneren Druckschwankungen, die dazu führen könnten, dass die Lampe zerbricht.
Die Probleme in den Griff bekommen
Aber seien wir realistisch: Es können immer wieder Probleme auftreten. Deshalb haben wir eine weitere Schutzmaßnahme eingebaut. Wir haben schützende Abdeckungen sowie verstärkte Endkappen verwendet. Die Dichtung zwischen der Lampe und dem Gehäuse ist sehr gut. Falls doch eine Lampe versagt, fängt das Sicherheitssystem die Splitter auf. Der Glasrest bleibt im Gehäuse – und Ihre Wafer bleiben sauber. Zudem verwenden wir spezielle Beschichtungen, um die Wärmestrahlung zu regulieren. Dadurch entfällt der Druck auf den Quarz, auch bei maximaler Belastung.
Ein paar Tipps für die Betriebsführung
Diese Lampen liefern zwar eine höhere Wärmestärke – doch das setzt den Kühlsystemen viel zu. Wenn die Luftzufuhr nicht richtig eingestellt ist, kann die Umgebungstemperatur die Lebensdauer der Lampe stark verkürzen. Achten Sie daher genau auf den Stromverbrauch. Wenn es plötzlich zu einem Rückgang kommt, zeigt das meist an, dass die Lampe bald versagen wird. Das ist ein Warnsignal dafür, sie rechtzeitig auszutauschen. Verwenden Sie außerdem eine präzise PID-Steuerung. Spannungsspitzen können die Lampe zerstören. Wenn Sie die Leistung richtig einstellen, hält der Quarz länger und der Produktionsbereich bleibt sauber. Einfach so.