در کارخانههای تولید، حتی تغییر نیم درجهای در دمای پخت، میتواند باعث شود که کیفیت فوتورزیست مناسب نباشد و محصولات نامرغوب شوند. فرآیندهای پخت ملایم، پخت شدید، و خشک کردن ویفر، صرفاً مراحل حرارتی نیستند؛ بلکه این فرآیندها عامل کنترل کیفیت، خطوط تقسیم و تعداد نقایص در محصولات هستند. وقتی که سیستم گرمایشی دچار مشکل شود، هزینههای زیادی برای تولید مجدد محصولات، استفاده از مواد نامرغوب، و از دست رفتن زمان تولید پیش میآید.
آنچه واقعاً اهمیت دارد:
ما از گرمکنهای صنعتی مبتنی بر موجهای فروسرخ برای گرم کردن ویفرها استفاده میکنیم؛ این روش باعث انتقال انرژی مستقیم و پاسخ سریع به تغییرات دما میشود. در ناحیه گرم، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ این امر باعث میشود جریان فوتورزیست، حذف حلالها، و فرآیندهای اتصالات بین مولکولها به درستی انجام شود. ناحیه گرم برای استفاده در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ مواد استفاده شده دارای میزان گازهای تولید شده کمی هستند، و مسیر جریان هوا نیز به گونهای طراحی شده که جلوی ورود ذرات به داخل محیط کارخانه گرفته شود. عدم تولید هیچ ذرهای یک ادعای تئوریک نیست؛ ما این موضوع را در نقاط خروجی هوا اندازهگیری کرده و آن را با دستگاههای اندازهگیری ذرات کارخانه مقایسه میکنیم. قابلیت تکرارپذیری این سیستم ناشی از کنترلهای بسته، حسگرهای دقیق، و جرم حرارتی است؛ این عوامل باعث میشوند دما حتی در صورت تغییر باتهای تولیدی، پایدار بماند.
چرا این روش در تولید مؤثر است:
در تولید واقعی، استفاده از موجهای فروسرخ باعث میشود روند گرم شدن ویفر سریعتر انجام شود، کنترل دما دقیقتر باشد، و کنترل ابعاد حیاتی محصولات نیز بهتر شود. پخت ملایم باعث کاهش نقایص ناشی از حلالها میشود؛ پخت شدید نیز باعث بهبود چسبندگی و مقاومت ویفر در برابر فرآیندهای احیا میشود. این سیستم ۲۴ ساعته کار میکند، بنابراین هیچ توقف غیرمنتظرهای وجود ندارد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا موجهای فروسرخ ویفر را مستقیماً گرم میکنند؛ در نتیجه حرارت اضافی کمتری تولید میشود. نتیجه نهایی، تولید ویفرهای با کیفیت بیشتر، کمتر شدن مواد نامرغوب، و کمتر شدن نیاز به تعویض گرمکنها است.
نکات عملی:
برای استفاده از موجهای فروسرخ، نیاز به دید مستقیم به ویفر وجود دارد؛ بنابراین ژئومتری اتصال دستگاهها اهمیت زیادی دارد. فاصله لازم برای قرارگیری دستگاهها کمتر از دستگاههای گرمایشی مبتنی بر هوای گرم است؛ بنابراین لازم است از همان ابتدا با تأمینکنندگان دستگاهها درباره فاصلهها، مسیرهای خروج هوا، و سیستمهای محافظتی صحبت کنید. ما از رابطهای مکانیکی و الکتریکی استاندارد پشتیبانی میکنیم؛ اما برخی از دستگاههای قدیمی نیاز به استفاده از اتصالات ویژه دارند. لطفاً از قبل کلاس اتاق پاکسازی و الزامات مربوط به خروج هوا را مشخص کنید؛ این موارد بر استراتژیهای مربوط به محافظت از ویفرها و سیستمهای فیلترسازی تأثیر میگذارند.