Arrêtez les éclats : pourquoi vos lampes infrarouges étanches sont indispensables pendant le cycle de rinçage
Si vous avez déjà eu affaire à une lampe infrarouge qui a explosé pendant le cycle de rinçage, vous savez à quel point c’est grave. C’est un véritable cauchemar : il ne s’agit pas seulement d’une pièce endommagée, mais aussi d’éclats de verre et de substances chimiques partout sur les wafers. C’est une contamination immédiate et coûteuse.
Nous en avons eu assez de voir cela se produire, alors nous avons conçu des lampes infrarouges étanches qui résistent vraiment aux conditions difficiles.
Le problème des gouttes d’eau
Le problème, c’est que lorsque des gouttes d’eau touchent un tube en quartz chaud, la température chute instantanément en cet endroit. C’est ce qu’on appelle le choc thermique. Cela crée de minuscules fissures qui ne sont même pas visibles. Mais lorsqu’on travaille à grande vitesse, ces fissures grandissent. Finalement, le tube explose.
Pour résoudre ce problème, nous avons utilisé un mélange de quartz spécialisé. Ce mélange présente un coefficient de dilatation thermique plus faible, ce qui signifie qu’il peut résister aux agressions causées par l’humidité sans se fissurer. Il supporte donc mieux les contraintes.
Empêcher l’entrée de l’eau
Une lampe ordinaire dans un environnement humide est en réalité comme une bombe à retardement.
Nous avons ajouté un système de scellement autour des extrémités de la lampe pour empêcher l’humidité d’atteindre les contacts électriques. Plus de courts-circuits, plus de défaillances prématurées.
Il y a aussi le problème de la formation de dépôts minéraux. Si vous avez déjà utilisé ces lampes, vous savez que les dépôts minéraux causés par l’eau créent des “points chauds” sur le tube. Ces points perturbent la distribution de la chaleur et, finalement, détruisent le quartz. Nous avons traité la surface extérieure de la lampe pour qu’elle résiste à ces dépôts. La surface reste propre, ce qui permet une distribution uniforme de la chaleur sur les wafers.
Quelques points à garder en tête
Rien n’est parfait. Comme nous avons ajouté un revêtement étanche, il y a une couche supplémentaire d’isolation. Vous remarquerez que la réponse thermique est un peu plus lente que celle d’un tube ordinaire. Ce n’est pas un problème majeur, mais il vous faudra ajuster les paramètres PID pour compenser ce léger retard si vous avez besoin d’un contrôle précis de la température.
Le meilleur côté ? Ce sont des remplacements simples. Elles s’installent directement dans vos postes de rinçage existants. Vérifiez simplement que votre alimentation électrique peut supporter la puissance requise par ces lampes étanches, afin d’éviter tout court-circuit pendant les périodes de forte charge.