Lampe chauffante pour l élimination de l humidité dans les wafer
Sur le plan de fabrication, l’humidité présente dans le photorésistant ou directement sur la surface de la wafer peut endommager les dimensions...
Lampe de déshydratation des wafers
Une fois le wafer sorti du bain de rinçage, le compteur commence à tourner. Toute humidité restante se manifeste sous forme de défauts sur la couche...