Une fois le wafer sorti du bain de rinçage, le compteur commence à tourner. Toute humidité restante se manifeste sous forme de défauts sur la couche de résist, ou bien entraîne des problèmes que l’on ne peut pas tolerer. Il est donc nécessaire d’avoir une étape de séchage rapide, sans pour autant consommer trop d’énergie ou ajouter des particules inutiles.
Ce qui est important en termes de fonctionnement interne Nous avons conçu notre lampe de séchage en utilisant des ondes infrarouges à courte longueur d’onde, dans un enveloppement en quartz. La géométrie du réflecteur permet de diriger la chaleur vers la pellicule, et non vers le support sur lequel elle est appliquée. Cela assure une uniformité spatiale de ±0,1 °C dans toute la zone éclairée, ce qui permet au taux de température de la couche de résist de rester dans les limites prévues pendant les processus de séchage. La compatibilité avec les salles propres n’est pas un problème : le fonctionnement en classe 1–100 est assuré par des composants à faible émission de gaz, des joints étanches, ainsi qu’un profil de particules stable. La répétabilité des performances reste comprise entre 1 % après des milliers de cycles, et le système ajuste rapidement sa température de fonctionnement pour maintenir les dimensions critiques stables.
Pourquoi c’est utile en lithographie Dans les cellules de lithographie, la lampe élimine l’humidité de la surface juste avant l’application de la couche de résist. Ainsi, on évite les problèmes liés à l’humidité et aux défauts aux bords de la couche de résist. Lors des processus de séchage, la lampe assure une température constante au même endroit, cycle après cycle. Cela permet de maintenir des valeurs constantes de température, ce qui réduit les retouches nécessaires et diminue la consommation d’énergie, car la lampe ne chauffe que la zone concernée. La fiabilité du système se mesure par le temps de fonctionnement : les unités peuvent fonctionner plus de 5 000 heures avec moins de 5 % de baisse de performance, et les intervalles de maintenance peuvent être allongés sans augmenter les risques.
À quoi il faut faire attention La lampe fonctionne avec les interfaces standards SEMI, mais son intégration nécessite tout de même une attention particulière en ce qui concerne l’espace thermique nécessaire et le parcours des gaz d’échappement. L’enveloppement en quartz ne tolère pas les chocs mécaniques ; par conséquent, son manipulation et son montage doivent respecter les spécifications relatives au couple de serrage et à l’alignement. Il est également nécessaire d’utiliser des câbles électriques et de signalisation adaptés aux conditions des salles propres. Vérifiez aussi que les gaz utilisés dans le processus correspondent bien à la liste des matériaux autorisés.