परिचय
कल्पना कीजिए: आप ऐसा सेमीकंडक्टर उत्पादन संयंत्र बना रहे हैं, जो भविष्य के लिए तैयार हो। ऐसी जगह, जहाँ हर चीज़ अत्यंत सटीक, तेज़ गति से काम करे, एवं सब कुछ आपस में जुड़ा रहे।
हीटिंग सिस्टम के मामले में, ऐसा थर्मल स्रोत आवश्यक है जो इस गति के साथ काम कर सके। यही कारण है कि हमने हैलोजन-इन्फ्रारेड हीटिंग लैंप बनाए। ये ही सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियाओं में उपयोग होने वाले हीटरों का मुख्य घटक हैं।
ये लैंप, ठीक उसी जगह पर ऊर्जा प्रदान करते हैं, जहाँ इसकी आवश्यकता है – यानी वेफर पर। कोई अतिरिक्त ऊष्मा नहीं… कोई ऊर्जा बर्बाद नहीं… सिर्फ़ शुद्ध, लक्षित ऊर्जा।
तकनीकी विवरण
असल में, यहाँ ऊर्जा को सटीक तरीके से प्रदान करना ही महत्वपूर्ण है। हम लैंप की शक्ति को वोल्टेज के अनुसार समायोजित करते हैं, ताकि प्रक्रिया के लिए आवश्यक तापमान प्राप्त हो सके।
उदाहरण के लिए, 400V इनपुट एवं 300मिमी ट्यूब का उपयोग करने से तेज़ एवं सटीक ऊष्मा प्राप्त होती है। यह तो गर्मी की लेज़र किरण की तरह ही है… जो सीधे वेफर पर ही पड़ती है।
वॉटेज को ऐसे ही समायोजित किया गया है कि तुरंत ही ऊष्मा प्राप्त हो सके। इससे प्रक्रिया का समय भी कम रहता है… कोई इंतज़ार नहीं।
सामग्री एवं डिज़ाइन
ट्यूब को क्वार्ट्ज से ही ढका गया है… क्यों? क्योंकि यह अचानक होने वाले तापमान परिवर्तनों को सहन कर सकता है… और टूटता नहीं।
अंदर, हैलोजन गैस एक बंद चक्र बनाती है… जिससे फिलामेंट सुरक्षित रहता है, एवं ऊर्जा घंटों तक स्थिर रहती है।
हमने विशेष प्रतिबिंबक आवरण भी लगाया है… जिससे इन्फ्रारेड ऊर्जा सीधे वेफर पर ही पहुँचती है।
इंस्टॉलेशन हेतु हम R7s कनेक्टर का उपयोग करते हैं… यह तेज़ी से जुड़ जाता है, उच्च धारा को सहन कर सकता है… एवं कठिन परिस्थितियों में भी स्थिर रहता है।
अनुप्रयोग एवं लाभ
सेमीकंडक्टर हीटर में, ये लैंप थर्मोकपल के साथ मिलकर नियंत्रण चक्र को पूरा करते हैं। इन्फ्रारेड ऊर्जा से तुरंत ही ऊष्मा प्राप्त होती है… जिससे थर्मोकपल तापमान परिवर्तनों को तुरंत ही महसूस कर सकता है, एवं ऊर्जा को तुरंत ही समायोजित कर सकता है।
इससे तापमान स्थिर रहता है… ठीक उसी स्तर पर, जहाँ प्रक्रिया के लिए आवश्यक है।
लेकिन इस प्रणाली में बहुत अधिक ऊष्मा होती है… इसलिए आसपास के उपकरणों को ठंडा रखने हेतु अच्छा कूलिंग सिस्टम आवश्यक है।
लेकिन इंजीनियरों के लिए तो यह एक विश्वसनीय, उपयोगी उपकरण है… जो डिजिटल उत्पादन प्रक्रियाओं में आसानी से काम करता है।