वेफर से नमी हटाने हेतु हीटर लैंप
फैबरिकेशन प्रक्रिया के दौरान, फोटोरेजिस्ट में या वेफर की सतह पर मौजूद नमी, एक्सपोजर के बाद वेफर के महत्वपूर्ण आयामों को नष्ट कर देती है। यदि इस नमी...
वेफर से नमी हटाने हेतु लैंप
जैसे ही वेफर रिन्सिंग प्रक्रिया से बाहर आता है, टाइमर शुरू हो जाता है। अगर कोई नमी बच जाती है, तो यह रेजिस्ट सतह पर दिखाई देती है; ऐसी स्थिति में...