Di lini produksi litografi, proses “bake” bukanlah sekadar proses pemanasan saja. Itu merupakan tahap yang penting dalam proses pembuatan chip. Perubahan suhu sebesar 2°C selama proses “soft bake” dapat mengubah nilai Tg dari bahan fotoresist. Selain itu, ketidakteraturan suhu selama proses “hard bake” juga dapat menyebabkan masalah seperti gangguan pada bentuk tepi dan lebar garis pada chip yang dihasilkan. Oleh karena itu, diperlukan kontrol suhu yang akurat, bukan sekadar perkiraan semata.
Yang penting secara teknis: Kami menggunakan sensor IR yang sangat presisi untuk memastikan bahwa suhu permukaan wafer tetap stabil dalam rentang ±0,1°C. Tingkat repetibilitasnya pun mencapai ±0,05°C antar batch produksi. Sensor ini dirancang untuk digunakan di ruang bersih kelas 1–100, dan mampu menghasilkan sinyal NIR yang stabil tanpa adanya titik panas. Emitter berbahan kuarsa/halogen digunakan untuk menghasilkan sinyal NIR yang stabil, tanpa adanya gangguan.
Proses “bake” dapat dilakukan pada suhu mulai dari 90°C hingga 250°C, dengan kontrol suhu yang sangat ketat. Sistem ini dirancang untuk beroperasi 24/7 tanpa adanya henti operasi yang tidak terduga.
Mengapa hal ini berhasil di pabrik: Dalam praktiknya, proses “soft bake” selalu menghasilkan hasil yang sama setiap kali dilakukan. Proses “hard bake” memastikan bahwa profil termal tetap stabil, sehingga kualitas chip yang dihasilkan pun lebih baik. Dengan demikian, jumlah batch produksi yang diperlukan berkurang, limbah pun berkurang, dan waktu produksi pun menjadi lebih efisien. Penggunaan energi juga berkurang, karena proses “bake” disesuaikan dengan karakteristik kimia bahan fotoresist, bukan hanya berdasarkan perkiraan semata.
Hal-hal yang perlu diketahui: Pemasangan sensor memerlukan penyesuaian geometri pelat pemanas dan emisivitas bahan yang digunakan. Kami menyediakan kit kalibrasi serta daftar cek yang perlu dilakukan dalam waktu 30 menit. Waktu pengaturan awal mungkin sedikit lebih lama, tetapi setelah itu, proses produksi akan berjalan lancar. Untuk mendapatkan stabilitas yang optimal, pastikan jendela sensor bebas dari kotoran, dan pastikan kebersihannya selama pemeliharaan preventif.