Quando si asciugano le wafer dei sensori MEMS dopo una pulizia chimica, bisogna essere molto cauti. È necessario utilizzare calore intenso per completare il processo, ma questo avviene proprio vicino a solventi infiammabili. Un errore può causare gravi problemi.
Ecco perché preferiamo utilizzare lampade a infrarossi a brevissima lunghezza d’onda. Queste lampade emettono un fascio di calore intensivo e veloce, che permette di far evaporare i liquidi prima ancora che il resto del substrato possa surriscaldarsi.
Gestire i rischi
La principale preoccupazione in un ambiente di lavaggio chimico è ovviamente l’incendio. Non ci fidiamo soltanto dell’efficacia degli strumenti utilizzati: costruiamo anche barriere protettive. Le lampade a infrarossi vengono inserite all’interno di tubi di quarzo o zaffiro sigillati. Si tratta di uno “scudo” che mantiene i vapori infiammabili lontani dal filamento di tungsteno incandescente. Inoltre, i cavi vengono sigillati con resine resistenti agli agenti chimici. L’obiettivo è eliminare ogni possibilità che i gas possano entrare nell’apparecchio.
Calore e flusso d’aria
Questi riscaldatori sono progettati per raggiungere un determinato intervallo di temperatura. I raggi infrarossi a breve lunghezza d’onda attraversano immediatamente i residui liquidi, trasformandoli in vapore. È un sistema molto potente. Tuttavia, è necessario disporre di un sistema di ventilazione efficace. Se il flusso d’aria è insufficiente, i gas evaporati rimarranno nell’ambiente circostante il riscaldatore. Bisogna assolutamente evitare questo scenario.
Mantenere il funzionamento ottimale
Nessuno vuole passare il tempo a riparare una camera di essiccazione solo perché una lampada si è bruciata. Abbiamo progettato questi dispositivi in modo modulare, con connettori standard: quindi sostituire una lampada danneggiata è semplice e veloce. Utilizziamo anche quarzo rinforzato, che resiste ai colpi termici dovuti al rapido riscaldamento e raffreddamento. Assicuratevi comunque che l’alimentazione elettrica sia filtrata: eventuali picchi di tensione possono facilmente distruggere il filamento, e questo è certo un problema da evitare.