Riscaldatore per la essiccazione dei wafer dei sensori MEMS
Quando si asciugano le wafer dei sensori MEMS dopo una pulizia chimica, bisogna essere molto cauti. È necessario utilizzare calore intenso per...
Wafer ad asciugatura rapida dopo la lampada di risciacquo
Sulla linea da 300 mm, un wafer bagnato lasciato in giro rappresenta un arresto della linea. L’umidità residua significa striature, particelle...
Lampada per l asciugatura del catalizzatore della cella a combustibile
On line, la deriva non è un’opzione.
Il budget termico di un wafer durante la litografia e il processamento del photoresist si misura in secondi e...