Durante il processo di essiccazione, il wafer esce dall’acqua e inizia a scorrere il tempo. Qualsiasi umidità rimasta si manifesta sotto forma di depositi di resistivo, creando problemi che è impossibile ignorare. È quindi necessario un passaggio di essiccazione rapido, senza che ci sia una perdita di calore o l’aggiunta di particelle.
Cosa conta veramente
Abbiamo progettato la lampada per l’eliminazione dell’umidità utilizzando radiazioni infrarosse a lunghezza d’onda corta, contenute in un involucro di quarzo. La geometria del riflettore assicura che il calore venga concentrato sul film, non sul supporto su cui è applicato il film stesso. Questo permette una uniformità termica di ±0,1°C nella zona illuminata, così che la temperatura del fotoresist rimanga entro i limiti richiesti durante i processi di essiccazione. La compatibilità con gli ambienti puliti non è un problema: il funzionamento in condizioni di classe 1–100 è garantito da componenti che riducono al minimo le emissioni di gas, giunture sigillate e un profilo di particelle costante. La ripetibilità delle prestazioni rimane entro lo 0,1% dopo migliaia di cicli, e il sistema riesce a mantenere stabili le dimensioni critiche grazie a una risposta in millesimi di secondo.
Perché è utile in litografia
Nelle cellule di litografia, la lampada elimina l’umidità dalla superficie proprio prima dell’applicazione del fotoresist, evitando così problemi legati all’umidità e alla formazione di grumi sui bordi. Durante i processi di essiccazione, la lampada garantisce una temperatura costante nello stesso punto, ciclo dopo ciclo, così che le temperature Ttop e Tbottom non cambino. Questa costanza riduce i tempi di qualifica, diminuisce i lavori di riparazione e riduce anche il consumo energetico, poiché la lampada riscalda solo l’area interessata. L’affidabilità della lampada si manifesta nel fatto che le unità possono funzionare per 5.000 ore o più, con una diminuzione della performance inferiore al 5%. Inoltre, gli intervalli di manutenzione possono essere allungati senza aumentare i rischi.
Cose da tenere presente
La lampada funziona con le interfacce standard SEMI, ma per l’integrazione è necessario prestare attenzione alle distanze termiche e ai percorsi per l’aspirazione dei gas. L’involucro di quarzo non tollera urti meccanici; pertanto, durante la manutenzione e l’installazione è necessario rispettare i parametri di torsione e allineamento specificati. È inoltre necessario utilizzare cavi di alimentazione e segnale adatti agli ambienti puliti, e verificare che i gas utilizzati nel processo siano compatibili con i materiali utilizzati.