히터가 장비를 손상시키지 않도록 하는 방법 반도체 히팅 요소를 제작할 때는 매우 높은 온도를 다루게 됩니다. 하지만 솔직히 말해서, 그 높은 온도는 그다지 문제가 되지 않습니다. 진짜 문제는 전기 누설입니다. 고전력 회로에 누설이 발생하면 단순히 오작동하는 것에 그치...

금도금된 적외선 램프가 고장나지 않도록 하는 방법 반도체 제조 공장에서는 금도금된 적외선 램프가 열을 효과적으로 전달하는 데 중요한 역할을 합니다. 그 금 코팅은 단순히 장식용이 아니라, 열을 웨이퍼 쪽으로 전달하고 램프 본체가 과열되는 것을 막아줍니다. 하지만 문제...

왜 우리는 클린룸용 카트에 적외선 가열 기술을 사용하는가? 반도체 제조 공장에서 “클린”이란 단순한 목표가 아니라 모든 것을 의미합니다. 부품에 이물질이 남아 있다면 그것은 큰 문제입니다. 그래서 우리는 카트 시스템에 적외선 가열 기술을 활용합니다. 대부분의 사람들은...

더 이상 오븐을 기다리지 마세요: 반도체 가공 과정에서 적외선 가열이 왜 더 효과적인가? 많은 반도체 생산 라인들이 여전히 열공기 순환 방식을 사용하고 있습니다. 이러한 시스템을 사용해본 사람이라면 그 과정이 얼마나 느린지 잘 알 것입니다. 공기를 가열시켜 작업 공간...

서론 이미지를 한번 떠올려보세요. 미래에 대비한 반도체 제조 공장을 건설하는 모습입니다. 모든 것이 정밀하고, 매우 빠르게 작동하며, 서로 연결된 곳이죠. 가열 시스템의 경우, 충분한 열을 공급할 수 있는 열원이 필요합니다. 바로 이러한 이유로 우리는 할로겐 적외선...

제조 현장에서는, 포토레지스트를 가열할 때 온도가 0.5°C만 변해도 회로선의 굵기가 나노미터 단위로 변할 수 있습니다. 그래서 많은 제품들이 폐기되고 맙니다. 우리는 이러한 상황을 고려하여, 짧은 파장의 근적외선을 사용하는 리소그래피 오븐 램프를 개발했습니다. 이를...