웨이퍼 산화용 가열 소자

왜 그 0.1°C라는 미세한 차이가 웨이퍼 산화 과정에서 중요한지 웨이퍼 산화는 절대로 소홀히 할 수 없는 공정입니다. 전체 챔버에 균일한 열이 공급되어야 합니다. 만약 가열 요소가 0.1°C 이내의 온도를 유지할 수 없다면, 산화층의 두께가 고르지 않아 생산성이 저...