일반적인 대류식 오븐을 생각해보세요. 이 오븐은 공기뿐만 아니라 랙이나 외벽까지 모든 것을 가열합니다. 반도체 클린룸에서는 이것이 문제가 됩니다. 작업자들이 오븐에 닿기만 해도 화상을 입을 수 있으며, 굳이 뜨거워질 필요가 없는 금속 벽까지 가열하는 데 엄청난 에너지...

서론 우리가 이 적외선 가열 요소를 만든 이유는 단 하나입니다. 바로 반도체 웨이퍼 건조 오븐에 사용되는 원래의 부품을 대체할 수 있는 고효율적인 솔루션을 제공하기 위함입니다. 국제적으로 유명한 제품들에 비싼 비용을 지불하는 것에 지쳤다면, 동일한 성능을 갖춘 저렴한...

제조 현장에서는, 포토레지스트를 가열할 때 온도가 0.5°C만 변해도 회로선의 굵기가 나노미터 단위로 변할 수 있습니다. 그래서 많은 제품들이 폐기되고 맙니다. 우리는 이러한 상황을 고려하여, 짧은 파장의 근적외선을 사용하는 리소그래피 오븐 램프를 개발했습니다. 이를...

현장에서는 사진감광액 베이크 중 0.3°C의 온도 변동만으로도 전체 로트가 폐기될 수 있다는 것을 잘 알고 있습니다. 웨이퍼 오븐용 SK15 적외선 램프는 바로 그 온도 변동이 시작되는 지점을 차단하기 위해 설계되었습니다. 열 예산을 직접적으로 제어하여 소프트 베이크...