제조 공장에서의 탄소 배출 감소: 건조 과정에 대해 이야기해보자 솔직히 말해서, 반도체 제조 공장은 엄청난 에너지를 소비합니다. 그 에너지의 상당 부분은 웨이퍼를 세척한 후 건조하는 데 사용됩니다. 아직도 많은 공장들이 구식의 대류식 오븐이나 가열 요소를 사용하고 있...

화학적 세척을 마친 후 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시킬 때는 매우 신중해야 합니다. 작업을 완료하기 위해서는 강력한 열이 필요하지만, 그 과정에서 가연성 용매들과 가까이 있어야 하기 때문입니다. 조금이라도 실수하면 심각한 문제가 생길 수 있습니다. 그래서 우리는 단파...

서론 우리가 이 적외선 가열 요소를 만든 이유는 단 하나입니다. 바로 반도체 웨이퍼 건조 오븐에 사용되는 원래의 부품을 대체할 수 있는 고효율적인 솔루션을 제공하기 위함입니다. 국제적으로 유명한 제품들에 비싼 비용을 지불하는 것에 지쳤다면, 동일한 성능을 갖춘 저렴한...

생산 현장이나 붐비는 야외 서비스 공간에서는 젖은 옷들이 햇볕을 기다릴 여유가 없습니다. 건조기가 작동하지 않으면 작업 속도가 느려지고 공기도 습하고 차가워집니다. 우리는 실제 작업 일정에 맞춰 사용할 수 있도록 CE 인증을 받은 적외선 히터를 개발했습니다. 이 히터...

300mm 라인에서의 웨이퍼 처리 300mm 라인에서 젖어 있는 웨이퍼는 라인 정지입니다. 남아있는 수분은 스트라이프, 입자 및 리소그래피에 도달하기도 전에 수율 손실을 초래합니다. 우리는 세척 후 빠른 건조 모듈을 구축하여 세척에서 건조로의 전환을 통제된 열 단계로...

라인에서는 드리프트가 허용되지 않는다. 웨이퍼의 열 예산은 리소그래피와 포토레지스트 공정을 통해 초 단위와 온도 단위로 측정된다. 연료전지 스택의 촉매층도 마찬가지로 얇고 민감하며 균일하지 않은 건조를 허용하지 않는다. 램프 성능이 떨어지면 즉시 알 수 있다. 가장자...